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龍圖騰網(wǎng)恭喜臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司申請(qǐng)的專利設(shè)備校準(zhǔn)方法、設(shè)備維護(hù)方法及半導(dǎo)體處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115116917B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110294505.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)設(shè)備校準(zhǔn)方法、設(shè)備維護(hù)方法及半導(dǎo)體處理方法是由范致中;吳昇穎;林明賢設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

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本發(fā)明授權(quán)設(shè)備校準(zhǔn)方法、設(shè)備維護(hù)方法及半導(dǎo)體處理方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種設(shè)備校準(zhǔn)方法，其特征在于，包含：將一校準(zhǔn)零件的一本體抵靠設(shè)置于一靜電卡盤(pán)上的一遮護(hù)板的一頂面，其中該校準(zhǔn)零件進(jìn)一步包含連接該本體且相對(duì)于該本體彎折的一第一延伸部以及連接該第一延伸部且相對(duì)于該第一延伸部彎折的一第二延伸部，且該本體與該第二延伸部位于該第一延伸部的同一側(cè)；以及調(diào)整該遮護(hù)板相對(duì)于該靜電卡盤(pán)的相對(duì)位置，致使沿著一第一軸向朝向該遮護(hù)板延伸的該第二延伸部在該第一延伸部分別抵靠該遮護(hù)板的一側(cè)面的一第一位置與一第二位置時(shí)不接觸環(huán)繞該靜電卡盤(pán)的一沉積環(huán)，其中該第一位置、該第二位置與該遮護(hù)板的中央在該第一軸向上排列，其中調(diào)整該遮護(hù)板相對(duì)于該靜電卡盤(pán)的相對(duì)位置進(jìn)一步包含：以該第一延伸部沿著該第一軸向朝向該第一位置推動(dòng)該遮護(hù)板，直到該第二延伸部接觸該沉積環(huán)；將該校準(zhǔn)零件自該遮護(hù)板的該第一位置的一側(cè)移至該第二位置的一側(cè)；以及以該第一延伸部沿著該第一軸向朝向該第二位置推動(dòng)該遮護(hù)板，并在該第二延伸部接觸該沉積環(huán)前停止。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國(guó)臺(tái)灣新竹市新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)力行六路八號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。