恭喜廣州華星光電技術有限公司史文獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜廣州華星光電技術有限公司申請的專利陣列基板的制備方法及陣列基板獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114122012B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111328824.8，技術領域涉及：H10D86/60；該發明授權陣列基板的制備方法及陣列基板是由史文設計研發完成，并于2021-11-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本陣列基板的制備方法及陣列基板在說明書摘要公布了：本申請公開了一種陣列基板的制備方法及陣列基板。所述陣列基板包括氧化物半導體層、柵極和形成在所述氧化物半導體層和所述柵極之間的金屬氧化物絕緣層，所述金屬氧化物絕緣層與所述氧化物半導體層相接觸，其中，在形成所述金屬氧化物絕緣層的步驟之后，所述陣列基板的制備方法包括以下步驟：對所述金屬氧化物絕緣層進行激光照射處理。本申請提高了氧化物TFT的遷移率。
本發明授權陣列基板的制備方法及陣列基板在權利要求書中公布了：1.一種陣列基板的制備方法，其特征在于，所述陣列基板包括氧化物半導體層、柵極和形成在所述氧化物半導體層和所述柵極之間的金屬氧化物絕緣層，所述金屬氧化物絕緣層與所述氧化物半導體層相接觸，其中，在形成所述金屬氧化物絕緣層的步驟之后且在形成所述氧化物半導體層之前，所述陣列基板的制備方法包括以下步驟：采用飛秒激光技術對所述金屬氧化物絕緣層進行激光照射，所述金屬氧化物絕緣層中的氧空位含量大于23％。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人廣州華星光電技術有限公司，其通訊地址為：510663 廣東省廣州市高新技術產業開發區科學城開達路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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