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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京日揚(yáng)弘創(chuàng)智能裝備有限公司申請(qǐng)的專利用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)、方法及裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119673849B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510187322.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)、方法及裝置是由關(guān)仁杰;張永濤;楊朔;葛成重;趙海榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)、方法及裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)、方法及裝置，其中，用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)中晶圓夾持機(jī)械手臂和內(nèi)置視覺相機(jī)的防水罩組合在一起，形成組合機(jī)械手臂，則該方法包括：在控制組合機(jī)械手臂移動(dòng)到DSP區(qū)域中第一設(shè)定位置的情況下，獲取視覺相機(jī)拍攝的行星輪上第一放置孔的第一當(dāng)前圖像信息，以及，在控制組合機(jī)械手臂移動(dòng)到DSP區(qū)域中第二設(shè)定位置的情況下，獲取視覺相機(jī)拍攝的行星輪上第二放置孔的第二當(dāng)前圖像信息；根據(jù)第一當(dāng)前圖像信息，第二當(dāng)前圖像信息，確定行星輪上中每個(gè)放置孔的位置信息，其中，行星輪上包括三個(gè)放置孔，每個(gè)放置孔承載一個(gè)晶圓。這樣，提高了視覺定位的效率。

本發(fā)明授權(quán)用于晶圓設(shè)備視覺定位的系統(tǒng)、方法及裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于晶圓設(shè)備視覺定位的方法，其特征在于，晶圓夾持機(jī)械手臂和內(nèi)置視覺相機(jī)的防水罩組合在一起，形成組合機(jī)械手臂，該方法包括：在控制組合機(jī)械手臂移動(dòng)到雙面研磨拋光設(shè)備區(qū)域中第一設(shè)定位置的情況下，獲取視覺相機(jī)拍攝的行星輪上第一放置孔的第一當(dāng)前圖像信息，以及，在控制組合機(jī)械手臂移動(dòng)到雙面研磨拋光設(shè)備區(qū)域中第二設(shè)定位置的情況下，獲取視覺相機(jī)拍攝的行星輪上第二放置孔的第二當(dāng)前圖像信息；根據(jù)第一當(dāng)前圖像信息，第二當(dāng)前圖像信息，確定行星輪上中每個(gè)放置孔的位置信息，其中，行星輪上包括三個(gè)放置孔，每個(gè)放置孔承載一個(gè)晶圓；其中，所述確定行星輪上中每個(gè)放置孔的位置信息包括：根據(jù)第一當(dāng)前圖像信息，第二當(dāng)前圖像信息，進(jìn)行圖像識(shí)別，得到第一放置孔的第一當(dāng)前位置信息和第二放置孔的第二當(dāng)前位置信息；根據(jù)行星輪上三個(gè)放置孔的位置關(guān)系，第一當(dāng)前位置信息，以及第二當(dāng)前位置信息，確定第三放置孔的第三當(dāng)前位置信息；所述確定第三放置孔的第三當(dāng)前位置信息包括：得到第一當(dāng)前位置信息與保存的第一初始位置信息之間的第一位置偏移，以及得到第二當(dāng)前位置信息與保存的第二初始位置信息之間的第二位置偏移；根據(jù)行星輪上三個(gè)放置孔的位置關(guān)系，以及，第一位置偏移與第二位置偏移，得到與第三放置孔對(duì)應(yīng)的第三位置偏移。

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