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龍圖騰網恭喜思恩半導體科技(蘇州)有限公司申請的專利一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置及清潔方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119694954B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510203930.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置及清潔方法是由王文和;蔡永禮;葉曲波設計研發完成，并于2025-02-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置及清潔方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置及清潔方法，涉及晶圓預加工技術領域，包括清洗箱，其頂部設置有運輸軌道，清洗箱的內部安裝有兆聲波發生器，在運輸軌道的內側滑動設置有晶圓運輸架，晶圓運輸架的底部同時夾持若干可活動的晶圓本體，運輸軌道上有安裝有檢測攝像頭，檢測攝像頭用于采集晶圓本體的光刻面斜角照片，基于光刻面斜角照片識別出晶圓本體的潮濕數據；由于對稱風干機構會對晶圓本體的表面施加對稱的風力，所以晶圓本體在受到較大風力作用時，晶圓本體兩側的作用力會相互抵消，保證晶圓本體不會發生形變，保證了晶圓本體的安全性，在提高晶圓本體風干效率的同時，晶圓本體不易發生碎裂。

本發明授權一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置及清潔方法在權利要求書中公布了：1.一種基于兆聲波的晶圓清潔裝置，其特征在于，包括：清洗箱，其頂部設置有運輸軌道，清洗箱的內部安裝有兆聲波發生器；晶圓運輸架，其滑動設置在運輸軌道的內側，晶圓運輸架的底部同時夾持若干可活動的晶圓本體；檢測攝像頭，其安裝在運輸軌道上，檢測攝像頭用于采集晶圓本體的光刻面斜角照片，基于光刻面斜角照片識別出晶圓本體的潮濕數據；對稱風干機構，其設置在清洗箱的一側，晶圓運輸架將夾持的若干晶圓本體交錯限定在對稱風干機構的頂面，對稱風干機構對晶圓本體的表面施加對稱的吹風的同時，使晶圓本體沿豎直平面轉動，基于潮濕數據確定對稱風干機構對晶圓本體的表面施加對稱吹風的時間；所述晶圓運輸架包括移動架，移動架的底面安裝有升降臺，升降臺的底面安裝有若干夾持機構；所述移動架包括矩形框架，矩形框架的兩端靠近運輸軌道的位置固定連接有與運輸軌道相匹配的軌道滑塊，矩形框架的頂面四角位置固定連接有豎直設置的液壓缸，液壓缸的底端連接有伸縮桿；所述升降臺包括矩形臺，矩形臺的底面安裝有若干組安裝座，每組安裝座直接通過軸承安裝有螺紋桿，螺紋桿的側面嵌套有移動座，伸縮桿遠離液壓缸的一端與矩形臺的頂面固定連接；所述夾持機構包括弧形架，弧形架的內部開設有液壓腔，弧形架的兩端插接有活動的弧形臂，弧形臂遠離弧形架的一端固定連接有活動滑輪座，弧形架的底面安裝有至少一個固定滑輪。

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