恭喜華芯程(杭州)科技有限公司舒中力獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜華芯程(杭州)科技有限公司申請的專利光學臨近修正優化方法、裝置、存儲介質及電子設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119668019B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510201124.4，技術領域涉及：G03F1/36；該發明授權光學臨近修正優化方法、裝置、存儲介質及電子設備是由舒中力設計研發完成，并于2025-02-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本光學臨近修正優化方法、裝置、存儲介質及電子設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種光學臨近修正優化方法、裝置、存儲介質及電子設備，其中，該光學臨近修正優化方法包括對原始版圖進行分析，以確定原始版圖中的待優化區域；將待優化區域中修正圖層與目標圖層之間的距離定義為修正變量；將所有修正變量的邊緣位置誤差的均方根誤差定義為目標評價函數；基于目標評價函數，采用退火算法對所有修正變量進行優化，以得到目標修正變量組合；利用目標修正變量組合對原始版圖進行修正，得到目標版圖。本方案避免由于修正變量相互影響而產生的缺陷圖形。
本發明授權光學臨近修正優化方法、裝置、存儲介質及電子設備在權利要求書中公布了：1.一種光學臨近修正優化方法，其特征在于，包括：對原始版圖進行分析，以確定所述原始版圖中的待優化區域；將所述待優化區域中修正圖層與目標圖層之間的距離定義為修正變量；將所有所述修正變量的邊緣位置誤差的均方根誤差定義為目標評價函數；基于所述目標評價函數，采用退火算法對所有所述修正變量進行優化，以得到目標修正變量組合，包括：將所有所述修正變量的初始值設置為0；在所述修正變量的預設取值范圍內隨機生成當前修正變量組合，并計算所述當前修正變量組合的當前評價函數；將所述當前評價函數與所述目標評價函數比較，并根據比較結果確定是否對所述目標評價函數進行更新；返回執行在所述修正變量的預設取值范圍內隨機生成當前修正變量組合的步驟，直至所有所述修正變量的邊緣位置誤差小于預設閾值為止，并將當前修正變量組合作為目標修正變量組合；利用所述目標修正變量組合對所述原始版圖進行修正，得到目標版圖。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華芯程(杭州)科技有限公司，其通訊地址為：310000 浙江省杭州市余杭區良渚街道網周路99號1幢22層2208室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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