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龍圖騰網(wǎng)恭喜亞斯卡瓦歐洲科技有限公司申請的專利半導(dǎo)體翻轉(zhuǎn)器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113874995B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080038615.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體翻轉(zhuǎn)器是由朗恩·克魯梅爾;伊齊亞·埃爾曼設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-03-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體翻轉(zhuǎn)器在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種用于半導(dǎo)體加工的晶圓翻轉(zhuǎn)裝置，包括一支撐旋轉(zhuǎn)組件，當(dāng)于一第一未旋轉(zhuǎn)位置時(shí)，旋轉(zhuǎn)組件在一側(cè)接收一半導(dǎo)體工作產(chǎn)品，夾持并對準(zhǔn)所述工作產(chǎn)品，使其上的所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品旋轉(zhuǎn)到一旋轉(zhuǎn)位置，并從所述旋轉(zhuǎn)位置釋放所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品。所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品可以是一系列不同形狀和尺寸中的任何一種，并且為相應(yīng)的形狀或尺寸選擇可伸縮銷。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體翻轉(zhuǎn)器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓翻轉(zhuǎn)方法，用于多個預(yù)定尺寸的多個半導(dǎo)體工作產(chǎn)品的半導(dǎo)體處理，其特征在于：所述方法包括：當(dāng)于一第一未旋轉(zhuǎn)位置時(shí)，在一旋轉(zhuǎn)組件中接收具有一第一預(yù)定尺寸的一半導(dǎo)體工作產(chǎn)品，所述旋轉(zhuǎn)組件具有多個可伸縮銷，每個所述可伸縮銷對應(yīng)于一各自的預(yù)定尺寸；在一第一旋轉(zhuǎn)位置夾住所述組件中的所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品；從對應(yīng)于所述第一預(yù)定尺寸的多個對準(zhǔn)的可伸縮銷中選擇可伸縮銷；使用選擇的所述可伸縮銷對準(zhǔn)所述組件中的所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品；將帶有所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品的所述組件旋轉(zhuǎn)到一第二旋轉(zhuǎn)位置；從所述第二旋轉(zhuǎn)位置釋放所述半導(dǎo)體工作產(chǎn)品。

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