恭喜應用材料股份有限公司亞當·M·麥勞克林獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料股份有限公司申請的專利用于離子注入系統的電極、工件固持器及半導體處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115349160B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180023400.2，技術領域涉及：H01J37/08；該發明授權用于離子注入系統的電極、工件固持器及半導體處理系統是由亞當·M·麥勞克林;喬丹·B·泰伊設計研發完成，并于2021-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于離子注入系統的電極、工件固持器及半導體處理系統在說明書摘要公布了：本發明公開安置在離子注入系統的各種組件中的熱隔離系留特征，具體而言，公開一種用于離子注入系統的電極、工件固持器及半導體處理系統。例如排斥極和側電極的電極可構造成具有充當電極桿的系留特征。歸因于安置在保持電極桿的擴口頭的內腔中的間隙，電極桿與電極塊進行最小的物理接觸。通過這種方式，電極塊的溫度可保持高于否則在傳導降低時可能的溫度。此外，這一概念可應用于工件固持器。舉例來說，陶瓷壓板制造成具有用于將壓板附連到底座的一個或多個系留緊固件。這可最小化壓板與底座之間的熱傳導，同時提供改進的機械連接。
本發明授權用于離子注入系統的電極、工件固持器及半導體處理系統在權利要求書中公布了：1.一種用于離子源的電極，包括：電極塊，適用于安置在所述離子源內，所述電極塊具有通過僅一個開口與所述電極塊的外部連通的封閉的內腔，其中所述開口未延伸穿過所述電極塊；以及電極桿，具有柱和擴口頭，其中所述擴口頭安置在所述封閉的內腔中且所述擴口頭的大小使得其無法穿過所述開口，且所述擴口頭在所述電極塊的所述封閉的內腔中保持系留。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料股份有限公司，其通訊地址為：美國加州圣塔克拉爾,鮑爾斯大道3050號(郵遞區號:95054)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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