恭喜雅安宇焜芯材材料科技有限公司喬焜獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜雅安宇焜芯材材料科技有限公司申請的專利一種氣源純度檢測裝置及氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119574813B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510133504.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01N33/00;該發(fā)明授權(quán)一種氣源純度檢測裝置及氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)是由喬焜;請求不公布姓名設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-02-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種氣源純度檢測裝置及氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及氣體純度檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氣源純度檢測裝置及氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)。氣源純度檢測裝置包括主管體、支持件、控制環(huán)、運動臂和濃度傳感器。主管體用于接入氣源管路。控制環(huán)可轉(zhuǎn)動地配合于支持件并由驅(qū)動器驅(qū)動,且控制環(huán)與外壁面之間轉(zhuǎn)動密封??刂骗h(huán)的內(nèi)環(huán)壁開設(shè)有集氣槽。支持件開設(shè)有安裝盲孔,運動臂可滑動地配合于安裝盲孔且滑動密封。運動臂與安裝盲孔的孔底壁之間抵接有第一彈性件。濃度傳感器設(shè)于運動臂的外側(cè)壁。當(dāng)控制環(huán)轉(zhuǎn)動時,集氣槽能夠周期性與主管體連通,且還能夠周期性地運動至運動臂處。其能夠?qū)崿F(xiàn)對氣源純度的更長時間的持續(xù)性精確檢測,在進行純度檢測的同時實現(xiàn)自動校準(zhǔn)。
本發(fā)明授權(quán)一種氣源純度檢測裝置及氮化鎵生產(chǎn)系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種氣源純度檢測裝置,其特征在于,包括:主管體、支持件、控制環(huán)、運動臂和濃度傳感器;所述支持件具有呈圓柱面的外壁面,所述外壁面開設(shè)有用于容置所述主管體的容置槽;所述主管體的外側(cè)壁開設(shè)有凹槽,所述凹槽與所述主管體的管腔連通,所述凹槽的槽底壁呈弧形,且所述凹槽的槽底壁的弧度與所述外壁面的弧度相同;當(dāng)所述主管體安裝于所述容置槽當(dāng)中時,所述凹槽的槽底壁與所述外壁面共同構(gòu)成完整的圓柱面;所述主管體用于接入氣源管路;所述控制環(huán)套設(shè)于所述支持件的所述外壁面,所述控制環(huán)與所述外壁面之間貼合;沿所述外壁面的周向,所述控制環(huán)可轉(zhuǎn)動地配合于所述支持件并由驅(qū)動器驅(qū)動,且所述控制環(huán)與所述外壁面之間轉(zhuǎn)動密封;所述控制環(huán)的內(nèi)環(huán)壁開設(shè)有集氣槽;所述支持件的所述外壁面還開設(shè)有安裝盲孔,所述運動臂可滑動地配合于所述安裝盲孔當(dāng)中,且所述運動臂與所述安裝盲孔的孔壁之間滑動密封;所述運動臂與所述安裝盲孔的孔底壁之間抵接有第一彈性件;所述運動臂的外側(cè)壁開設(shè)有與所述濃度傳感器相適配的安裝槽,所述濃度傳感器安裝于所述安裝槽當(dāng)中,所述濃度傳感器與所述運動臂的外側(cè)壁相齊平;當(dāng)所述控制環(huán)相對所述支持件轉(zhuǎn)動時,所述集氣槽能夠周期性地通過所述凹槽與所述主管體連通,且所述集氣槽還能夠周期性地運動至所述運動臂處,以使所述運動臂帶動所述濃度傳感器周期式地進入和退出所述集氣槽;沿所述控制環(huán)的周向,所述集氣槽的兩側(cè)槽壁均為傾斜壁,以用于引導(dǎo)所述運動臂進入和退出所述集氣槽。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人雅安宇焜芯材材料科技有限公司,其通訊地址為:625199 四川省雅安市雅安經(jīng)濟開發(fā)區(qū)濱河?xùn)|路11號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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