恭喜東京毅力科創株式會社岡野真也獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利輸送裝置、處理系統以及輸送方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114981948B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180010362.7,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權輸送裝置、處理系統以及輸送方法是由岡野真也設計研發完成,并于2021-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本輸送裝置、處理系統以及輸送方法在說明書摘要公布了:本發明的一個方式的輸送裝置具有:第一保持部,其用于與基板的端部接觸而對上述基板進行保持;以及第二保持部,其由彈性部件形成,用于僅與上述基板的背面接觸而對上述基板進行保持。
本發明授權輸送裝置、處理系統以及輸送方法在權利要求書中公布了:1.一種輸送裝置,具有:第一保持部,其用于與基板的端部接觸而對上述基板進行保持;第二保持部,其由彈性部件形成,用于僅與上述基板的背面接觸而對上述基板進行保持;以及控制裝置,其中,上述控制裝置構成為以如下方式控制該輸送裝置:通過上述第一保持部對上述基板進行保持的狀態下的輸送速度比通過上述第二保持部對上述基板進行保持的狀態下的輸送速度大,上述第一保持部設于不與被上述第二保持部保持的上述基板接觸的位置,上述第二保持部設于不與被上述第一保持部保持的上述基板接觸的位置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社,其通訊地址為:日本東京;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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