恭喜ASMIP私人控股有限公司A.伊利貝里獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASMIP私人控股有限公司申請的專利氧化硅在金屬表面上的選擇性沉積獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113463067B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110323241.X，技術領域涉及：C23C16/40；該發明授權氧化硅在金屬表面上的選擇性沉積是由A.伊利貝里;G.A.弗尼;鄧少任;D.恰佩;E.托伊斯;M.托米寧;M.吉文斯設計研發完成，并于2021-03-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本氧化硅在金屬表面上的選擇性沉積在說明書摘要公布了：提供了用于相對于介電表面在金屬或金屬性表面上選擇性沉積氧化硅膜的方法。可相對于金屬或金屬性表面選擇性地鈍化襯底的介電表面，如通過將襯底暴露于甲硅烷基化劑。然后，通過使金屬表面與金屬催化劑和包含硅烷醇的硅前體接觸來相對于經鈍化的氧化物表面選擇性地在金屬或金屬性表面上沉積氧化硅。
本發明授權氧化硅在金屬表面上的選擇性沉積在權利要求書中公布了：1.一種相對于襯底的介電表面選擇性地在所述襯底的金屬表面上沉積氧化硅的方法，所述方法按次序包括：使所述襯底與鈍化劑接觸，其中所述鈍化劑是甲硅烷基化劑；使所述襯底與金屬催化劑接觸；以及使所述襯底與包含硅烷醇的硅反應物接觸，其中所述金屬催化劑配置成催化由硅烷醇反應物形成氧化硅的反應。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASMIP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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