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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利紫外固化系統(tǒng)及其控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114156207B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111414144.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)紫外固化系統(tǒng)及其控制方法是由顧文亮設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-11-25向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本紫外固化系統(tǒng)及其控制方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種紫外固化系統(tǒng)及其控制方法，紫外固化系統(tǒng)包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第一光源、第二光源、位置檢測組件和控制裝置；其中，驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動第一光源和第二光源以至少一個單次旋轉(zhuǎn)周期旋轉(zhuǎn)；位置檢測組件用于在第一光源和第二光源的一個單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)獲取至少兩組對應(yīng)不同位置的檢測信號，并將檢測信號傳遞給控制裝置；控制裝置用于根據(jù)檢測信號獲取驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動第一光源和第二光源在一個單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)旋轉(zhuǎn)到對應(yīng)位置的實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)，并在理論旋轉(zhuǎn)參數(shù)與實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)滿足校正條件時，根據(jù)實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)校正驅(qū)動機(jī)構(gòu)在下一個單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)的理論旋轉(zhuǎn)參數(shù)。該方案能夠解決晶圓的加工質(zhì)量較差的問題。

本發(fā)明授權(quán)紫外固化系統(tǒng)及其控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種紫外固化系統(tǒng)，其特征在于，包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)（120）、第一光源（130）、第二光源（140）、位置檢測組件和控制裝置；其中，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)（120）用于驅(qū)動所述第一光源（130）和所述第二光源（140）以至少一個單次旋轉(zhuǎn)周期旋轉(zhuǎn)；所述位置檢測組件用于在所述第一光源（130）和所述第二光源（140）的一個所述單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)先后獲取至少兩組對應(yīng)不同位置的檢測信號，并將所述檢測信號傳遞給所述控制裝置；所述控制裝置用于根據(jù)所述檢測信號獲取所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)（120）驅(qū)動所述第一光源（130）和所述第二光源（140）在一個所述單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)旋轉(zhuǎn)到對應(yīng)位置的實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)，并在理論旋轉(zhuǎn)參數(shù)與所述實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)滿足校正條件時，根據(jù)所述實際旋轉(zhuǎn)參數(shù)校正所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)（120）在下一個單次旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)的理論旋轉(zhuǎn)參數(shù)。

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