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龍圖騰網恭喜瑞聲聲學科技(深圳)有限公司申請的專利微機電系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114302304B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111629634.X，技術領域涉及：H04R19/04；該發明授權微機電系統是由阿努普·帕特爾;尤安·詹姆斯·博伊德;斯科特·萊爾·嘉吉設計研發完成，并于2021-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本微機電系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種微機電系統，其包括：外殼，限定有空腔和與所述空腔連通的開口；振膜，安裝在所述開口處；至少一個懸臂，位于所述空腔內，所述懸臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之間的支點；柱塞，位于所述振膜和所述懸臂之間且用以將所述振膜的位移傳遞到所述懸臂的所述第一端；以及傳感元件，連接到所述懸臂的所述第二端；其中，所述第一端與所述支點之間的距離小于所述第二端和支點之間的距離。本發明的微機電系統具有信噪比高、封裝體積小、靈敏度高等優點。本發明的振膜的剛度比相關技術的振膜的數量級高，避免了在1標準大氣壓atm下的機械崩潰和大的直流變形。

本發明授權微機電系統在權利要求書中公布了：1.一種微機電系統，其特征在于，包括:外殼，限定有空腔和與所述空腔連通的開口；振膜，安裝在所述開口處；至少一個懸臂，位于所述空腔內，所述懸臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之間的支點；柱塞，所述柱塞位于所述振膜和所述懸臂之間用以將所述振膜的位移傳遞到所述懸臂的所述第一端；以及傳感元件，包括相對于所述外殼固定的固定部件和連接到所述懸臂的所述第二端并相對于所述固定部件可移動的移動部件，所述移動部件包括多個導電的活動指，每兩個相鄰的所述活動指之間形成第一間隙；所述固定部件包括多個導電的固定指，每兩個相鄰的所述固定指之間形成第二間隙；多個所述活動指分別與多個所述固定部件的第二間隙對齊，多個所述固定指分別與所述移動部件的多個所述第一間隙對齊；其中，所述第一端與所述支點之間的距離小于所述第二端和支點之間的距離。

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