恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司于斌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114743917B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210418067.1，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權半導體工藝設備是由于斌設計研發完成，并于2022-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種半導體工藝設備，包括工藝腔室和設置在工藝腔室中的靜電卡盤，靜電卡盤的承載面上設置有多個凸點，用于支撐晶圓；該設備還包括電荷消除裝置和接地的取片部件；其中，電荷消除裝置包括彈性導電部件，彈性導電部件在被放置于多個凸點上且在靜電卡盤通電時，能夠在靜電力的作用下產生彈性形變，以與靜電卡盤的承載面相接觸，以轉移承載面上的殘余電荷；取片部件用于將彈性導電部件放置在多個凸點上，或將彈性導電部件由多個凸點上取走；取片部件接地設置。本發明提供的半導體工藝設備，能夠快速消除靜電卡盤承載面上的殘余電荷，且不需要對工藝腔室進行開腔。
本發明授權半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體工藝設備，包括工藝腔室和設置在所述工藝腔室中的靜電卡盤，所述靜電卡盤的承載面上設置有多個凸點，用于支撐晶圓，其特征在于，還包括電荷消除裝置和取片部件；其中，所述電荷消除裝置包括彈性導電部件，所述彈性導電部件在被放置于多個所述凸點上且在所述靜電卡盤通電時，能夠在靜電力的作用下產生彈性形變，以與所述靜電卡盤的承載面相接觸，以轉移所述承載面上的殘余電荷；所述取片部件用于將所述彈性導電部件放置在多個所述凸點上，或將所述彈性導電部件由多個所述凸點上取走；所述取片部件接地設置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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