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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司申請的專利液體參數(shù)測量裝置和方法、半導(dǎo)體清洗設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115307702B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211132424.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01F23/28；該發(fā)明授權(quán)液體參數(shù)測量裝置和方法、半導(dǎo)體清洗設(shè)備是由陳海祥設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本液體參數(shù)測量裝置和方法、半導(dǎo)體清洗設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，提供一種液體參數(shù)測量裝置和方法、半導(dǎo)體清洗設(shè)備，該裝置用于檢測清洗槽中的液體參數(shù)，且包括第一液位傳感器、第二液位傳感器和處理模塊，其中，第一液位傳感器的第一探頭端位于清洗槽的底部，用于檢測第一探頭端與液體的液面之間的第一距離，并向處理模塊發(fā)送；第二液位傳感器的第二探頭端位于液面上方，用于檢測第二探頭端所在位置與液面之間的第二距離，并向處理模塊發(fā)送；處理模塊用于根據(jù)第二距離以及預(yù)先測定的第二探頭端與第一探頭端之間的第三距離，獲得液體的液位真實值；根據(jù)液位真實值與第一距離，獲得液體的密度真實值。本發(fā)明的方案可以提高測量清洗槽中的液體參數(shù)的準確度。

本發(fā)明授權(quán)液體參數(shù)測量裝置和方法、半導(dǎo)體清洗設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種液體參數(shù)測量裝置，用于檢測半導(dǎo)體清洗設(shè)備的清洗槽中的液體參數(shù)，其特征在于，包括第一液位傳感器、第二液位傳感器和處理模塊，其中，所述第一液位傳感器的第一探頭端位于所述清洗槽的底部，用于檢測所述第一探頭端與液體的液面之間的第一距離，并向所述處理模塊發(fā)送；所述第一液位傳感器為鼓泡型液位傳感器，所述鼓泡型液位傳感器用于通過檢測所述液體在所述第一探頭端處的壓力值，來獲得所述第一距離；所述第二液位傳感器的第二探頭端位于所述液面上方，用于檢測所述第二探頭端所在位置與所述液面之間的第二距離，并向所述處理模塊發(fā)送；所述處理模塊用于根據(jù)所述第二距離以及預(yù)先測定的所述第二探頭端與所述第一探頭端之間的第三距離，獲得所述液體的液位真實值；根據(jù)所述液位真實值與所述第一距離，獲得所述液體的密度真實值；所述第二液位傳感器為導(dǎo)向脈沖式液位傳感器，所述導(dǎo)向脈沖式液位傳感器具有導(dǎo)向探針，所述導(dǎo)向探針的遠離所述第二探頭端的一端低于所述第一液位傳感器的所述第一探頭端；所述第三距離、所述第二距離和所述液位真實值滿足下述關(guān)系式：h2=L-L1其中，h2為所述液體的液位真實值；L為所述第三距離；L1為所述第二距離；所述液位真實值、所述第一距離和所述密度真實值滿足以下關(guān)系式： 其中，為所述液體的密度真實值；為預(yù)設(shè)的標定液體的密度值；h1為所述第一距離；h2為所述液體的液位真實值。

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