恭喜拓荊科技股份有限公司張俊生獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利用于提供等離子體的裝置及半導體處理腔室獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115799033B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211466874.7，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權用于提供等離子體的裝置及半導體處理腔室是由張俊生設計研發完成，并于2022-11-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于提供等離子體的裝置及半導體處理腔室在說明書摘要公布了：本申請涉及用于提供等離子體的裝置及半導體處理腔室。本申請的一個方面提供了一種用于提供等離子體的裝置，其包括：循環通道，其位于所述裝置內部；一或多個進氣口，其用于接收氣體并將所述氣體提供到所述循環通道中；一或多個出氣口，其用于輸出所述循環通道中的所述氣體；以及射頻電極，其附接到所述循環通道，且用于在所述循環通道內形成電場以使所述循環通道中的所述氣體電離。
本發明授權用于提供等離子體的裝置及半導體處理腔室在權利要求書中公布了：1.一種用于提供等離子體的裝置，其包括：循環通道，其位于半導體處理腔室的腔體內部；一或多個進氣口，其用于接收氣體并將所述氣體提供到所述循環通道中，其中，所述氣體包括來自遠程等離子體源的等離子體；一或多個出氣口，其用于輸出所述循環通道中的所述氣體；以及射頻電極，其附接到所述循環通道，且用于在所述循環通道內形成電場以使所述循環通道中的所述氣體電離。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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