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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市矩陣多元科技有限公司申請(qǐng)的專利一種等離子體設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116288224B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310310174.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/50；該發(fā)明授權(quán)一種等離子體設(shè)備是由朱新華;張曉軍;羅敏;邵壽潛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-03-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種等離子體設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種片材用支撐裝置以及等離子體設(shè)備。該片材用支撐裝置包括：基臺(tái)，在載置面上載置呈矩形狀的片材；多個(gè)支撐件，分別沿垂直于所述載置面的方向穿過所述基臺(tái)并可突出于所述載置面，并且可分別從所述片材的底部的四周邊緣、以與面板的長(zhǎng)度方向以及寬度方向的中心線錯(cuò)開的方式支撐所述片材；定位組件，安裝到所述基臺(tái)，從所述片材的四周邊緣對(duì)所述片材進(jìn)行定位；所述基臺(tái)和多個(gè)所述支撐件當(dāng)中，至少其中一者可沿垂直于所述載置面的方向被驅(qū)動(dòng)，以使所述支撐件突出于所述載置面或者相對(duì)所述載置面縮回。本發(fā)明的片材用支撐裝置能夠可靠地支撐片材并抑制片材的偏移。

本發(fā)明授權(quán)一種等離子體設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種等離子體設(shè)備，具有真空室，其特征在于，所述真空室內(nèi)設(shè)置有：片材用支撐裝置，所述片材用支撐裝置包括：基臺(tái)，在載置面上載置呈矩形狀的片材；多個(gè)支撐件，分別沿垂直于所述載置面的方向穿過所述基臺(tái)并可突出于所述載置面，并且分別從所述片材的底部的四周邊緣、以與所述片材的長(zhǎng)度方向以及寬度方向的中心線錯(cuò)開的方式支撐所述片材；定位組件，安裝到所述基臺(tái)，從所述片材的四周邊緣對(duì)所述片材進(jìn)行定位；所述基臺(tái)和多個(gè)所述支撐件當(dāng)中，至少其中一者可沿垂直于所述載置面的方向被驅(qū)動(dòng)，以使所述支撐件突出于所述載置面或者相對(duì)所述載置面縮回；所述定位組件包括多個(gè)定位件，多個(gè)所述定位件分別沿垂直于所述載置面的方向可伸縮地安裝到所述基臺(tái)，所述定位件在相對(duì)于所述載置面朝所述基臺(tái)的內(nèi)側(cè)縮回的狀態(tài)下，所述定位件的遠(yuǎn)端，分別沿垂直于所述載置面的方向不突出于所述片材；壓邊件，與所述片材用支撐裝置對(duì)置；所述基臺(tái)通過第一驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)而靠近或者遠(yuǎn)離所述壓邊件，在靠近所述壓邊件時(shí)，所述壓邊件壓住所述片材的四周邊緣，并且，所述壓邊件在壓住所述片材的同時(shí)，將所述定位件一起下壓。

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