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龍圖騰網恭喜華芯程(杭州)科技有限公司申請的專利金屬線的光刻檢測方法、裝置、介質及終端獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119179240B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411697735.4，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權金屬線的光刻檢測方法、裝置、介質及終端是由吳志強;張艾莎;孫鵬飛設計研發完成，并于2024-11-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本金屬線的光刻檢測方法、裝置、介質及終端在說明書摘要公布了：本申請提供一種金屬線的光刻檢測方法、裝置、介質及終端，該方法包括：對獲得的設計版圖進行OPC修正，得到修正后的版圖；基于修正后的版圖，確定需檢測的金屬線圖形；對修正后的版圖進行光刻模擬，以得到需檢測的金屬線圖形對應的金屬線光刻模擬圖形；對金屬線光刻模擬圖形執行基于曲率的分區域檢測操作，以得到滿足金屬線圖形要求的修正版圖。本申請通過基于曲率的分區域檢測操作，實現了更加全面的金屬線圖形檢測，提高了檢測精度。

本發明授權金屬線的光刻檢測方法、裝置、介質及終端在權利要求書中公布了：1.一種金屬線的光刻檢測方法，其特征在于，包括：對獲得的設計版圖進行OPC修正，得到修正后的版圖；基于修正后的版圖，確定需檢測的金屬線圖形；對修正后的版圖進行光刻模擬，以得到需檢測的金屬線圖形對應的金屬線光刻模擬圖形；對所述金屬線光刻模擬圖形執行基于曲率的分區域檢測操作，以得到滿足金屬線圖形要求的修正版圖；其中，對所述金屬線光刻模擬圖形執行基于曲率的分區域檢測操作，以得到滿足金屬線圖形要求的修正版圖，包括：獲取所述金屬線光刻模擬圖形的邊緣曲率分布；根據所述邊緣曲率分布，確定第一檢測范圍以及第二檢測范圍；基于第一檢測范圍，對所述金屬線光刻模擬圖形進行面積比值檢測，并基于第二檢測范圍，對所述金屬線光刻模擬圖形進行對邊尺寸檢測；當獲得了通過面積比值檢測的結果以及通過對邊尺寸檢測的結果時，將修正后的版圖輸出為滿足金屬線圖形要求的修正版圖；基于第一檢測范圍，對所述金屬線光刻模擬圖形進行面積比值檢測的具體過程包括：基于計算的金屬線光刻模擬圖形在第一檢測范圍內的面積以及設計版圖在第一檢測范圍內的面積，獲得第一檢測范圍的面積比值；當所述第一檢測范圍的面積比值小于設定的面積閾值時，獲得未通過面積比值檢測的結果；當所述第一檢測范圍的面積比值不小于設定的面積閾值時，獲得通過面積比值檢測的結果；基于第二檢測范圍，對所述金屬線光刻模擬圖形進行對邊尺寸檢測的具體過程包括：按照設定的步長，在金屬線光刻模擬圖形在第二檢測范圍內的邊緣上選取多個評估點對，并測量每個評估點對的距離；當至少一個評估點對的距離小于設定的對邊尺寸閾值時，獲得未通過對邊尺寸檢測的結果；當所有評估點對的距離均不小于設定的對邊尺寸閾值時，獲得通過對邊尺寸檢測的結果。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華芯程(杭州)科技有限公司，其通訊地址為：311100 浙江省杭州市余杭區良渚街道網周路99號1幢22層2208室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。