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龍圖騰網恭喜杭州朗迅科技股份有限公司申請的專利晶圓位置的調整方法、裝置、電子設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119852217B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510330248.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權晶圓位置的調整方法、裝置、電子設備及存儲介質是由朱光;邸維超設計研發完成，并于2025-03-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓位置的調整方法、裝置、電子設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓位置的調整方法、裝置、電子設備及存儲介質，涉及晶圓處理技術領域。該方法包括：通過紅外傳感器陣列向晶圓轉盤發射第一維度的紅外傳感矩陣；確定目標卡扣在第一維度的紅外傳感矩陣內的第一坐標信息，如果確定第一坐標信息不滿足預設坐標信息，則通過紅外傳感器陣列向晶圓轉盤發射第二維度的紅外傳感矩陣；確定目標卡扣在第二維度的紅外傳感矩陣內的第二坐標信息，以及除目標卡扣外的其他卡扣在第二維度的紅外傳感矩陣內的第三坐標信息；基于各坐標信息確定晶圓轉盤的轉動角度，并基于轉動角度對晶圓轉盤進行轉動。本發明的方案，可以對晶圓位置進行調整，可以防止出現晶圓卡扣撞壞機械臂的機械手的情況。

本發明授權晶圓位置的調整方法、裝置、電子設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種晶圓位置的調整方法，其特征在于，應用于晶圓處理系統，所述晶圓處理系統包括：晶圓轉盤，所述晶圓轉盤通過電機控制轉動，并基于至少三個卡扣使目標晶圓隨著晶圓轉盤進行轉動；所述晶圓轉盤上方部署有紅外傳感器陣列，所述紅外傳感器陣列用于發射不同維度的紅外傳感矩陣；所述晶圓位置的調整方法包括：響應于所述晶圓轉盤的轉動停止指令，通過紅外傳感器陣列向所述晶圓轉盤發射第一維度的紅外傳感矩陣；確定目標卡扣在所述第一維度的紅外傳感矩陣內的第一坐標信息，如果確定所述第一坐標信息不滿足預設坐標信息，則通過紅外傳感器陣列向所述晶圓轉盤發射第二維度的紅外傳感矩陣；其中，所述第二維度大于所述第一維度；確定所述目標卡扣在所述第二維度的紅外傳感矩陣內的第二坐標信息，以及除所述目標卡扣外的其他卡扣在所述第二維度的紅外傳感矩陣內的第三坐標信息；基于所述第二坐標信息以及各所述第三坐標信息確定所述晶圓轉盤的轉動角度，并基于所述轉動角度對所述晶圓轉盤進行轉動。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州朗迅科技股份有限公司，其通訊地址為：310053 浙江省杭州市濱江區六和路368號1幢(南)5樓E5029室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。