恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司余斌獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置及碰撞測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114690576B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011625851.7，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置及碰撞測試方法是由余斌;羅晉;趙丹平;王莘元設計研發完成，并于2020-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置及碰撞測試方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置及碰撞測試方法，所述具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置包括：浸沒單元；測試單元，包括測試件、測試線路和電氣測試儀，所述電氣測試儀通過所述測試線路分別與所述浸沒單元和所述測試件電連接，所述電氣測試儀用于測試所述浸沒單元和所述測試件之間的電阻和或電容，以判斷所述浸沒單元和所述測試件在運行過程中二者之間是否發生碰撞；以及，承載單元，用于承載所述測試件，所述承載單元設置于所述浸沒單元的下方。本發明的技術方案能夠準確判斷浸沒單元與測試件在運行過程中二者之間是否發生碰撞，使得能夠評估防碰撞功能的有效性，進而確保光刻機的安全運行。
本發明授權具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置及碰撞測試方法在權利要求書中公布了：1.一種具有碰撞測試功能的浸沒光刻裝置，其特征在于，包括：浸沒單元；測試單元，包括測試件、測試線路和電氣測試儀，所述電氣測試儀通過所述測試線路分別與所述浸沒單元和所述測試件電連接，所述電氣測試儀用于測試所述浸沒單元和所述測試件之間的電阻和電容、或者電阻，以判斷所述浸沒單元和所述測試件在運行過程中二者之間是否發生碰撞；以及，承載單元，用于承載所述測試件，所述承載單元設置于所述浸沒單元的下方；其中，所述測試件具有相對的導電面和支撐面，所述導電面相比所述支撐面更靠近所述浸沒單元，所述導電面具有至少兩個相互絕緣的導電區，不同的所述導電區的電阻不同，所述浸沒單元與所述測試件之間發生碰撞，則所述電氣測試儀根據測試到的電阻獲得所述導電面上發生碰撞的導電區。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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