恭喜拓荊創益(沈陽)半導體設備有限公司黃明策獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜拓荊創益(沈陽)半導體設備有限公司申請的專利噴淋裝置、反應腔室及薄膜沉積設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222886757U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421941618.3，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型噴淋裝置、反應腔室及薄膜沉積設備是由黃明策;野沢俊久設計研發完成，并于2024-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本噴淋裝置、反應腔室及薄膜沉積設備在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種噴淋裝置、反應腔室及薄膜沉積設備，反應腔室包括腔體、噴淋裝置和形變檢測裝置，噴淋裝置和形變檢測裝置設于腔體內，該噴淋裝置包括噴淋板、噴淋上板和至少一組形變補償組件，噴淋上板設于噴淋板的上方，形變補償組件包括驅動部和形變支撐部，驅動部設于噴淋上板的上方，驅動部通過形變支撐部穿過噴淋上板與下方的噴淋板的邊緣連接，形變檢測裝置檢測噴淋板的中心與邊緣的水平差，當噴淋板的邊緣與中心存在水平差，通過驅動部驅動形變支撐部可維持地向上拉動和或向下抵壓噴淋板的邊緣，使得噴淋板的邊緣產生蠕性變形，補償噴淋板的邊緣與中心的水平差，在工藝狀態時保證噴淋板與加熱盤之間合適的極間距，提高膜厚的均勻性。
本實用新型噴淋裝置、反應腔室及薄膜沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括：噴淋板；噴淋上板，設于所述噴淋板的上方；至少一組形變補償組件，包括驅動部和形變支撐部，所述驅動部設于所述噴淋上板的上方，所述形變支撐部的一端與所述驅動部連接，所述形變支撐部的另一端穿過所述噴淋上板與所述噴淋板的邊緣連接；其中，所述驅動部用于驅動所述形變支撐部可維持地向上拉動和或向下抵壓所述噴淋板的邊緣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊創益(沈陽)半導體設備有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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