中國科學技術大學吳思獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學技術大學申請的專利一種高力學強度和高分辨率的納米壓印光刻膠及其噴墨打印方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119556529B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510103977.4，技術領域涉及：G03F7/027；該發明授權一種高力學強度和高分辨率的納米壓印光刻膠及其噴墨打印方法是由吳思;姜佳偉設計研發完成，并于2025-01-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高力學強度和高分辨率的納米壓印光刻膠及其噴墨打印方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種高力學強度和高分辨率的納米壓印光刻膠及其噴墨打印方法。本發明納米壓印光刻膠主要針對噴墨打印與納米壓印技術的兼容性以及半導體領域中的高精度制造進行設計，在經過篩選與調配后，可以由噴墨打印頭按需分配光刻膠液滴，快速打印所需圖案，最后通過納米壓印光刻機曝光實現50nm的高分辨率壓印。與現有技術中的納米壓印光刻膠相比，本發明的納米壓印光刻膠具有可快速噴墨打印、固化速率快、優異的抗氧阻聚性能、高力學強度、高分辨率和易于脫模等優點。本發明旨在提升納米壓印光刻膠在實際應用中的操作性與可靠性，在半導體先進制程等高精度制造領域具有潛在的應用前景。
本發明授權一種高力學強度和高分辨率的納米壓印光刻膠及其噴墨打印方法在權利要求書中公布了：1.一種納米壓印光刻膠，其特征在于其原料按質量百分比構成為：含雙鍵的剛性單體85wt%~95wt%，含巰基的剛性化合物1wt%~5wt%，光引發劑1wt%~5wt%，有機溶劑0wt%~1wt%；所述含雙鍵的剛性單體選自環己烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、雙酚A甘油酯、間苯二甲酸二乙二醇二丙烯酸酯、甲基丙烯酸丙酮縮甘油酯中的一種或幾種；所述含巰基的剛性化合物選自四巰基苯、1,3,5-苯三硫酚中的一種或幾種。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學技術大學，其通訊地址為：230026 安徽省合肥市包河區金寨路96號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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