恭喜北京懷柔實驗室劉瑞獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京懷柔實驗室申請的專利用于裝載晶圓的晶舟獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222887854U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202520597678.6，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型用于裝載晶圓的晶舟是由劉瑞;魏曉光;黃志濤;李玲;王耀華;唐新靈;焦倩倩;高雅琦;吳沛飛設計研發完成，并于2025-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于裝載晶圓的晶舟在說明書摘要公布了：一種用于裝載晶圓的晶舟，屬于半導體制造領域。晶舟（100）包括支撐件（1）和桿狀的多個支桿套（2），支桿套（2）彼此平行地且可拆卸地安裝在支撐件（1）上，支桿套（2）在支桿套（2）的延伸方向上面向待裝載的晶圓一側設有彼此平行的多個晶圓插槽（21），支桿套（2）設置為彼此共圓地在一圓周方向上排列。通過裝載晶圓的晶舟，實現一個晶舟適用于多種厚度晶圓的目的。
本實用新型用于裝載晶圓的晶舟在權利要求書中公布了：1.一種用于裝載晶圓的晶舟（100），其特征在于，所述晶舟（100）包括支撐件（1）和桿狀的多個支桿套（2），支桿套（2）彼此平行地且可拆卸地安裝在支撐件（1）上，支桿套（2）在支桿套（2）的延伸方向上面向待裝載的晶圓一側設有彼此平行的多個晶圓插槽（21）；支桿套（2）設置為彼此共圓地在一圓周方向上排列。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京懷柔實驗室，其通訊地址為：101400 北京市懷柔區楊雁東一路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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