恭喜北京懷柔實驗室劉瑞獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京懷柔實驗室申請的專利用于裝載晶圓的晶舟獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222887854U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202520597678.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/673；該實用新型用于裝載晶圓的晶舟是由劉瑞;魏曉光;黃志濤;李玲;王耀華;唐新靈;焦倩倩;高雅琦;吳沛飛設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-01向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本用于裝載晶圓的晶舟在說明書摘要公布了：一種用于裝載晶圓的晶舟，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。晶舟（100）包括支撐件（1）和桿狀的多個支桿套（2），支桿套（2）彼此平行地且可拆卸地安裝在支撐件（1）上，支桿套（2）在支桿套（2）的延伸方向上面向待裝載的晶圓一側(cè)設(shè)有彼此平行的多個晶圓插槽（21），支桿套（2）設(shè)置為彼此共圓地在一圓周方向上排列。通過裝載晶圓的晶舟，實現(xiàn)一個晶舟適用于多種厚度晶圓的目的。
本實用新型用于裝載晶圓的晶舟在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于裝載晶圓的晶舟（100），其特征在于，所述晶舟（100）包括支撐件（1）和桿狀的多個支桿套（2），支桿套（2）彼此平行地且可拆卸地安裝在支撐件（1）上，支桿套（2）在支桿套（2）的延伸方向上面向待裝載的晶圓一側(cè)設(shè)有彼此平行的多個晶圓插槽（21）；支桿套（2）設(shè)置為彼此共圓地在一圓周方向上排列。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人北京懷柔實驗室，其通訊地址為：101400 北京市懷柔區(qū)楊雁東一路8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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