恭喜美光科技公司王釗文獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜美光科技公司申請的專利輻射熱集體接合器及群體接合器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113851385B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110702268.X,技術領域涉及:H01L21/603;該發明授權輻射熱集體接合器及群體接合器是由王釗文設計研發完成,并于2021-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本輻射熱集體接合器及群體接合器在說明書摘要公布了:本公開涉及用于封裝半導體裸片堆疊的輻射熱集體接合器及群體接合器。所述接合器通常包含:護罩,其至少部分地圍繞所述裸片堆疊定位;及輻射熱源,其經定位在所述護罩內部且經配置以在遠離所述護罩的方向上發射輻射熱通量。所述接合器可進一步包含經配置以接觸所述裸片堆疊的最頂部裸片的背側的接合頭且任選地包含經配置以接觸所述裸片堆疊下面的襯底的另一接合頭。所述輻射熱源可經配置以將所述輻射熱通量引導到所述裸片堆疊的至少一部分以減小所述裸片堆疊中的垂直溫度梯度。所述接合頭中的一或兩者可經配置以將傳導熱通量并發地引導到所述裸片堆疊中。
本發明授權輻射熱集體接合器及群體接合器在權利要求書中公布了:1.一種半導體裸片堆疊接合工具,其包括:接合頭,其經耦合到柄且經配置以接觸形成在襯底上的裸片堆疊中的最頂部裸片的背側;護罩,其經定位成鄰近于所述接合頭,所述護罩具有側壁和上壁,所述側壁帶有面向所述接合頭的第一輻射反射內表面;及輻射熱源,其經定位在所述接合頭上方且位于所述第一輻射反射內表面的第一部分處以在遠離所述第一輻射反射內表面的所述第一部分的方向上朝向所述第一輻射反射內表面的第二部分選擇性地發射輻射熱通量,以使得所述輻射熱通量從所述第一輻射反射內表面的所述第二部分反射到所述裸片堆疊的至少一部分以減小所述裸片堆疊中的垂直溫度梯度。
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