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龍圖騰網恭喜上海大族富創得科技股份有限公司申請的專利晶圓轉移機械臂、轉移方法以及晶圓夾具獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113725145B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111090818.3，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權晶圓轉移機械臂、轉移方法以及晶圓夾具是由吳功;倪萌設計研發完成，并于2021-09-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓轉移機械臂、轉移方法以及晶圓夾具在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓轉移機械臂，包括：晶圓夾具，晶圓夾具包括限位裝置和至少一個托爪盤，托爪盤上設置有至少兩個托爪塊，限位裝置包括推桿和驅動機構，驅動機構用于驅動推桿朝向收容空間水平移動，以使得位于收容空間內的晶圓邊緣被夾持于推桿和托爪塊之間；和機械臂本體，晶圓夾具設置于機械臂本體上，機械臂本體用于帶動晶圓夾具平移和或旋轉。本發明通過設置限位裝置，將位于收容空間內的晶圓夾持限位在推桿和托爪塊之間，從而避免晶圓夾具在帶動晶圓移動過程中，晶圓因慣性在收容空間內晃動，甚至脫離收容空間，從而提高了晶圓轉移的安全性，并且有利于提高晶圓轉移速度。

本發明授權晶圓轉移機械臂、轉移方法以及晶圓夾具在權利要求書中公布了：1.一種晶圓轉移機械臂，其特征在于，包括：晶圓夾具，所述晶圓夾具包括限位裝置和至少一個托爪盤，所述托爪盤上設置有至少兩個托爪塊，所述托爪塊為階梯狀，且包括至少一組相互連接的承托面和限位面，以形成至少一用于容納并承托晶圓的收容空間，所述承托面用于承托所述晶圓，所述承托面水平設置，或所述承托面相對水平面朝向所述托爪盤以及所述收容空間中心的方向傾斜設置，所述限位面用于限制所述晶圓水平移動，所述限位面沿所述托爪塊的高度方向并朝向所述收容空間外部延伸，且同一所述收容空間的相鄰兩所述限位面的之間的最小距離小于所述晶圓的直徑，所述限位裝置包括推桿和驅動機構，所述驅動機構用于驅動所述推桿朝向所述收容空間水平移動，以使得位于所述收容空間內的所述晶圓邊緣被夾持于所述推桿和所述托爪塊之間；和機械臂本體，所述晶圓夾具設置于所述機械臂本體上，所述機械臂本體用于帶動所述晶圓夾具平移和或旋轉；并且，所述托爪盤上設置有四個呈一矩形排布的所述托爪塊，四個所述托爪塊位于同一平面上，且弧度相同，并且滿足： 其中，D為收容空間的直徑，d為待收容晶圓的直徑，x1為收容空間在直徑上的容錯距離，x2為所述晶圓在原載具中的水平偏移距離，w1為所述承托面在水平面上正投影的寬度，w2為所述限位面在水平面上正投影的寬度。

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