恭喜長江存儲科技有限責任公司雷鑫獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜長江存儲科技有限責任公司申請的專利晶圓平坦度的預測獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114391177B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180005051.1，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權晶圓平坦度的預測是由雷鑫;周盈;宋豪杰;鮑琨;王璠;金國秀設計研發完成，并于2021-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓平坦度的預測在說明書摘要公布了：本公開內容的方面提供了用于確定晶圓平坦度和用于制造半導體器件的方法。所述方法包括：存儲在光刻工藝期間沿著平行于第一晶圓的工作表面的第一方向收集的第一晶圓的第一晶圓膨脹。光刻工藝用于在第一晶圓的工作表面上對結構進行圖案化。在具有晶圓平坦度要求的制造步驟之前，使用被配置為預測晶圓平坦度的平坦度預測模型、并基于在光刻工藝期間收集的第一晶圓膨脹來確定第一晶圓的晶圓平坦度。在示例中，在第一晶圓的背面上沉積具有基于所確定的第一晶圓的晶圓平坦度的厚度的層。
本發明授權晶圓平坦度的預測在權利要求書中公布了：1.一種用于確定晶圓平坦度的方法，包括：存儲第一晶圓的第一晶圓膨脹，所述第一晶圓的所述第一晶圓膨脹是在用于在所述第一晶圓的工作表面上對結構進行圖案化的光刻工藝期間、沿著平行于所述第一晶圓的所述工作表面的第一方向收集的；以及在具有晶圓平坦度要求的制造步驟之前，使用被配置為預測所述晶圓平坦度的平坦度預測模型、并基于在所述光刻工藝期間收集的所述第一晶圓膨脹來確定所述第一晶圓的晶圓平坦度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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