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龍圖騰網恭喜中國科學院電工研究所申請的專利一種電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115166810B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210786535.0，技術領域涉及：G01T1/29；該發明授權一種電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法是由趙偉霞;張利新;劉俊標;王巖;鄧晨暉;殷伯華;王鵬飛;馬玉田;韓立設計研發完成，并于2022-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法在說明書摘要公布了：本發明涉及電子束測量技術領域，具體涉及一種電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法。一種電子束參數測量裝置，包括：微器件陣列結構多層板，所述多層板上設有多個陣列分布的法拉第杯組件，每個所述法拉第杯組件包括同軸設置的至少兩個法拉第杯，至少兩個所述法拉第杯貫通設置，電子束經上層所述法拉第杯射入下層所述法拉第杯中，獲取每層所述法拉第杯的電子束束流大小，以得到所述電子束的相應參數。本發明提供了一種可快速測量的電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法。

本發明授權一種電子束參數測量裝置及電子束參數測量方法在權利要求書中公布了：1.一種電子束參數測量方法，其特征在于，包括以下步驟：將所述電子束垂直朝向多層板（11）的法拉第杯組件（10）照射，使得所述電子束依次經上層法拉第杯射入下層所述法拉第杯中，獲取每個所述法拉第杯組件（10）中每層所述法拉第杯的電子束束流大小I1i和I2i，以得到所述電子束的相應參數，根據下述公式得到進入每個所述法拉第杯組件（10）中的電子束的傾斜角θi，i=1,2,3,…,N，單位為rad，所述電子束的束斑直徑、所述電子束的束流I、所述電子束的發散角α、束流密度J、角束流密度Jα和束流密度分布Ji， Maxθi,i=1,2,3,…,N ，i=1,2,3,…,N d為光闌板的第一通孔直徑； D為杯體的內徑； h為第三通孔上平面至第一通孔上平面的距離； 為第i個法拉第杯組件中的電子束在上層法拉第杯中束流大??； 為第i個法拉第杯組件中的電子束在下層法拉第杯中束流大小； N為法拉第杯的個數； p為相鄰兩個杯體的中心間距。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院電工研究所，其通訊地址為：100190 北京市海淀區中關村北二條6號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。