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龍圖騰網恭喜安徽美達倫光伏科技有限公司申請的專利一種用作晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜及制備設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119521836B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411642233.1，技術領域涉及：H10F71/00；該發明授權一種用作晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜及制備設備是由楊曉磊;樊遠勝;宛正;楊恒春設計研發完成，并于2024-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用作晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜及制備設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用作晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜及制備設備，涉及光伏電池生產技術領域，包括由底板和上蓋組成的反應腔室，還包括同軸波導，其安裝于反應腔室底部，所述同軸波導一端于反應腔室下方安裝有矩形波導，另一端于反應腔室內安裝有基臺，所述基臺和底板之間安裝有石英玻璃環，擴散式進氣組件，其轉動安裝于上蓋中，所述上蓋內安裝有分流托架，所述擴散式進氣組件底部與分流托架相搭接，所述分流托架底部設有環形分流腔和位于環形分流腔內的中心分流盤。本發明通過擴散式進氣組件和分流托架的設計，氣體能夠均勻分布到反應腔室的各個角落，從而提高了反應的均勻性，使得隧穿鈍化層的質量更加穩定可靠。

本發明授權一種用作晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜及制備設備在權利要求書中公布了：1.一種用作制備晶硅光伏電池隧穿鈍化層的復合膜的設備，該復合膜由氧化硅和氧化鋯組成，且氧化硅與氧化鋯在復合膜中均勻分布，所述復合膜由氧化硅與氧化鋯交替堆疊或相互混合形成，所述復合膜包括采用化學氣相沉積法或等離子體增強CVD法進行制備，該設備包括由底板101和上蓋102組成的反應腔室1，其特征在于，還包括：同軸波導2，其安裝于反應腔室1底部，所述同軸波導2一端于反應腔室1下方安裝有矩形波導201，另一端于反應腔室1內安裝有基臺202，所述基臺202和底板101之間安裝有石英玻璃環203；擴散式進氣組件3，其轉動安裝于上蓋102中，所述上蓋102內安裝有分流托架4，所述擴散式進氣組件3底部與分流托架4相搭接，所述分流托架4底部設有環形分流腔401和位于環形分流腔401內的中心分流盤402；若干個分流調節閥5，其分別位于環形分流腔401和分流托架4之間的多個連通處，且擴散式進氣組件3與分流調節閥5傳動連接，當所述擴散式進氣組件3轉動時，驅動分流調節閥5開合。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人安徽美達倫光伏科技有限公司，其通訊地址為：239400 安徽省滁州市明光市寶塔山路以東、魯山路以西、淮河大道以北；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。