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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院申請(qǐng)的專利激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119594893B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411796178.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該發(fā)明授權(quán)激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與方法是由刁曉飛;周長(zhǎng)偉;張韜;周良全;韓蔚;王藝軒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與方法，屬于表面形貌精密測(cè)量領(lǐng)域，包括激光系統(tǒng)、差動(dòng)共焦系統(tǒng)、干涉精密測(cè)量系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)；激光系統(tǒng)產(chǎn)生一束長(zhǎng)波長(zhǎng)激光和一束短波長(zhǎng)激光，短波長(zhǎng)激光進(jìn)入差動(dòng)共焦系統(tǒng)用于待測(cè)非球面表面的定位，信號(hào)處理系統(tǒng)根據(jù)定位調(diào)節(jié)激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與待測(cè)非球面表面的位置，長(zhǎng)波長(zhǎng)激光進(jìn)入干涉精密測(cè)量系統(tǒng)并輸出待測(cè)非球面表面的電信號(hào)，信號(hào)處理系統(tǒng)通過處理所述電信號(hào)獲得待測(cè)非球面表面的面形結(jié)果。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)非球面表面精準(zhǔn)定位和面形快速精密測(cè)量且共光路，具有高精度、高靈敏度、高分辨率以及通用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

本發(fā)明授權(quán)激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置，其特征在于，包括：激光系統(tǒng)、差動(dòng)共焦系統(tǒng)、干涉精密測(cè)量系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)；所述激光系統(tǒng)產(chǎn)生一束長(zhǎng)波長(zhǎng)激光和一束短波長(zhǎng)激光，所述短波長(zhǎng)激光進(jìn)入所述差動(dòng)共焦系統(tǒng)用于待測(cè)非球面表面的定位，所述信號(hào)處理系統(tǒng)根據(jù)所述定位調(diào)節(jié)所述激光雙色差動(dòng)共焦定面干涉非球面參數(shù)測(cè)量裝置與所述待測(cè)非球面表面的位置，所述長(zhǎng)波長(zhǎng)激光進(jìn)入所述干涉精密測(cè)量系統(tǒng)并輸出所述待測(cè)非球面表面的電信號(hào)，所述信號(hào)處理系統(tǒng)通過處理所述電信號(hào)獲得所述待測(cè)非球面表面的面形結(jié)果；所述激光系統(tǒng)包括：長(zhǎng)波長(zhǎng)激光器、短波長(zhǎng)激光器、波分復(fù)用器、準(zhǔn)直鏡組、濾光片、第一四分之一波片、反射鏡、偏振分光鏡、第二四分之一波片、第一透鏡、二向色鏡；所述波分復(fù)用器、所述準(zhǔn)直鏡組、所述偏振分光鏡依次同軸放置；在所述偏振分光鏡的反射方向依次同軸放置所述濾光片、所述第一四分之一波片、所述反射鏡；在所述偏振分光鏡的透射方向依次同軸放置所述第二四分之一波片、所述第一透鏡；經(jīng)過所述偏振分光鏡后的反射光與透射光分別經(jīng)過兩次四分之一波片，偏振方向改變，其中透射光變?yōu)榉瓷涔猓瓷涔庾優(yōu)橥干涔猓⒒氐剿銎穹止忡R處合并為一束后到達(dá)所述二向色鏡；所述差動(dòng)共焦系統(tǒng)設(shè)置在所述二向色鏡的透射方向，所述干涉精密測(cè)量系統(tǒng)設(shè)置在所述二向色鏡的反射方向；所述差動(dòng)共焦系統(tǒng)包括：第二透鏡、位置傳感器、第一分光鏡、第三透鏡、第一針孔、第一光電探測(cè)器、第二分光鏡、第二光電探測(cè)器、第二針孔、第四透鏡；在所述第一分光鏡的反射方向依次同軸放置所述第一透鏡和所述位置傳感器；在所述第一分光鏡的透射方向設(shè)置所述第二分光鏡；在所述第二分光鏡的透射方向依次放置所述第三透鏡、所述第一針孔和所述第一光電探測(cè)器；在所述第二分光鏡的反射方向依次放置所述第二透鏡、所述第二針孔和所述第二光電探測(cè)器；所述干涉精密測(cè)量系統(tǒng)包括：四象限干涉信號(hào)探測(cè)器、分束鏡；在所述二向色鏡的反射方向依次同軸放置所述分束鏡和所述四象限干涉信號(hào)探測(cè)器。

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