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龍圖騰網(wǎng)恭喜芯鎣智鋮(重慶)科技有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119812066B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510294659.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備是由徐維哲;劉意;楊靖;王鵬設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-03-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備，涉及半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，其包括箱體，箱體上設(shè)置有進料機構(gòu)和出料機構(gòu)，箱體內(nèi)設(shè)置有移動機構(gòu)，移動機構(gòu)上設(shè)置有機械臂，箱體內(nèi)設(shè)置有置物架，置物架上設(shè)置有方片尋邊機和晶圓尋邊機，箱體上設(shè)置有多個檢測機構(gòu)，箱體側(cè)壁上開設(shè)有多個檢測口。本申請利用移動機構(gòu)帶動機械臂移動，機械臂將晶圓和液晶方片分別搬運至晶圓尋邊機和方片尋邊機上進行尋邊，晶圓尋邊機和方片尋邊機同時進行尋邊，再將尋邊后的晶圓和液晶方片通過檢測口搬運至不同的檢測機構(gòu)內(nèi)，多個檢測機構(gòu)同時對晶圓和液晶方片進行檢測，使得檢測設(shè)備兼容了晶圓與液晶方片的搬運、尋邊與檢測并提高了晶圓和液晶方片的檢測效率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體產(chǎn)品檢測設(shè)備，其特征在于：包括箱體1，所述箱體1寬度方向的一側(cè)壁上間隔設(shè)置有進料機構(gòu)3和出料機構(gòu)4，所述箱體1內(nèi)設(shè)置有移動機構(gòu)7，所述移動機構(gòu)7的移動端上設(shè)置有機械臂8，所述移動機構(gòu)7帶動機械臂8沿箱體1的長度方向往復(fù)移動，所述箱體1內(nèi)長度方向的一端設(shè)置有置物架9，所述置物架9上設(shè)置有方片尋邊機11和晶圓尋邊機10，所述箱體1寬度方向的另一側(cè)壁上設(shè)置有多個檢測機構(gòu)18，所述箱體1側(cè)壁上位于每個檢測機構(gòu)18處均開設(shè)有檢測口；所述機械臂8包括移動箱81、升降柱82、第一轉(zhuǎn)臂83、第二轉(zhuǎn)臂84、第三轉(zhuǎn)臂85和托架86，所述移動箱81設(shè)置在移動機構(gòu)7的移動端，所述升降柱82滑動設(shè)置在移動箱81內(nèi)，所述第一轉(zhuǎn)臂83轉(zhuǎn)動設(shè)置在升降柱82的頂端，所述第二轉(zhuǎn)臂84轉(zhuǎn)動設(shè)置在第一轉(zhuǎn)臂83上，所述第三轉(zhuǎn)臂85轉(zhuǎn)動設(shè)置在第二轉(zhuǎn)臂84上，所述托架86固定設(shè)置在第三轉(zhuǎn)臂85上，所述托架86用于托起晶圓或液晶方片，所述托架86上設(shè)置有用于支撐晶圓或液晶方片的墊片19；所述第三轉(zhuǎn)臂85的側(cè)壁上轉(zhuǎn)動設(shè)置有旋轉(zhuǎn)座20，所述第三轉(zhuǎn)臂85內(nèi)設(shè)置有用于帶動旋轉(zhuǎn)座20轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)件21，所述托架86固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)座20的側(cè)壁上，所述托架86上滑動設(shè)置有移動座22，所述旋轉(zhuǎn)座20上設(shè)置有用于帶動移動座22往復(fù)移動的第一驅(qū)動件23，所述移動座22上設(shè)置有第二驅(qū)動件24，所述第二驅(qū)動件24的驅(qū)動端設(shè)置有移動板25，所述移動板25以及托架86上均設(shè)置有兩個限位盤26，四個所述限位盤26抵接夾持晶圓或液晶方片；所述限位盤26包括桿體261、連接環(huán)262和盤體263，四個所述桿體261分別固定設(shè)置在移動板25和托架86上，所述連接環(huán)262固定設(shè)置在桿體261上，所述盤體263與連接環(huán)262固定連接并位于桿體261的端部，且所述盤體263的直徑大于連接環(huán)262的直徑。

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