恭喜芯鎣智鋮(重慶)科技有限公司徐維哲獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜芯鎣智鋮(重慶)科技有限公司申請的專利一種半導體產品搬運設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119833456B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510300106.1,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權一種半導體產品搬運設備是由徐維哲;李坤明設計研發完成,并于2025-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體產品搬運設備在說明書摘要公布了:本申請公開了一種半導體產品搬運設備,涉及半導體檢測領域,包括機箱,機箱一側設置有進出料機構,機箱另一側開設有檢測口,機箱內設置有機械臂,機箱內設置有移動機構,機箱內設置有晶圓尋邊機構,機箱內設置有方片尋邊機構。本申請利用晶圓尋邊機構和方片尋邊機構,移動機構帶動機械臂移動至進出料機構處,機械臂抓取一個晶圓或液晶方片,并將晶圓放置在晶圓尋邊機構上,將液晶方片放置在方片尋邊機構上,晶圓和液晶方片完成尋邊后,機械臂再將晶圓或液晶方片輸送至檢測口內,檢測機構對晶圓或液晶方片進行檢測,一個搬運設備能夠同時對晶圓或液晶方片進行搬運,從而降低了晶圓和液晶方片的生產成本。
本發明授權一種半導體產品搬運設備在權利要求書中公布了:1.一種半導體產品搬運設備,其特征在于:包括機箱1,所述機箱1的一側設置有兩個進出料機構2,所述機箱1的另一側開設有檢測口3,所述機箱1內設置有機械臂4,所述機箱1內設置有用于帶動機械臂4在進出料機構2和檢測口3之間往復平移的移動機構5,所述機箱1內設置有晶圓尋邊機構6,所述機箱1內設置有方片尋邊機構7,所述晶圓尋邊機構6和方片尋邊機構7均位于進出料機構2和檢測口3之間;所述機械臂4包括安裝座41、升降柱42、第一轉臂43、第二轉臂44、第三轉臂45和托架46,所述安裝座41設置在移動機構5的移動端,所述升降柱42升降設置在安裝座41內,所述第一轉臂43轉動設置在升降柱42的頂端,所述第二轉臂44轉動設置在第一轉臂43遠離升降柱42的一端,所述第三轉臂45轉動設置在第二轉臂44遠離第一轉臂43的一端,所述托架46固定設置在第三轉臂45遠離第二轉臂44的一端;所述第三轉臂45內固定設置有第一驅動件13,所述第一驅動件13的驅動端設置有滑板14,所述滑板14滑動設置在托架46上,所述滑板14上設置有第二驅動件15,所述第二驅動件15的驅動端設置有推板16,所述推板16滑動設置在托架46上,所述托架46遠離第三轉臂45的一端以及推板16上均設置有兩個限位件17,四個所述限位件17對晶圓進行抵接限位,所述滑板14上沿垂直自身移動方向間隔開設有兩個滑槽18,所述滑板14位于滑槽18內滑動設置有滑塊19,兩個所述滑塊19上均轉動設置有轉桿20,所述滑塊19上設置有用于驅動轉桿20轉動的轉動件21,所述轉桿20遠離滑塊19的一端設置有限位桿22,四個所述限位件17和兩個限位桿22對液晶方片的四邊進行抵接限位,所述托架46的頂壁上沿自身寬度方向對稱傾斜開設有導向槽23,兩個所述導向槽23靠近第三轉臂45的一端朝相互遠離方向傾斜,所述滑塊19的底壁上固定設置有導向塊24,所述導向塊24沿導向槽23的傾斜方向滑動設置在導向槽23內。
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