恭喜中國電子科技集團公司第十三研究所李亮獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利諧振器和濾波器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111431497B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201811592862.2,技術領域涉及:H03H3/02;該發明授權諧振器和濾波器是由李亮;呂鑫;梁東升;劉青林;馬杰;高淵設計研發完成,并于2018-12-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本諧振器和濾波器在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體技術領域,公開了一種諧振器和濾波器。該諧振器包括襯底;多層結構,形成于所述襯底上,所述多層結構由下至上依次包括下電極層、壓電層和上電極層;其中,在所述襯底和所述多層結構之間形成有腔體,所述腔體包括位于所述襯底上表面之下的下半腔體和超出所述襯底上表面并向所述多層結構突出的上半腔體。上述諧振器通過設置具有下半腔體和上半腔體的腔體,且下半腔體整體位于襯底上表面之下,上半腔體整體位于襯底上表面之上,從而形成一種新型的諧振器結構,且具有較好的性能。
本發明授權諧振器和濾波器在權利要求書中公布了:1.一種諧振器,其特征在于,包括:襯底;其中,所述襯底由多個晶體組成;多層結構,形成于所述襯底上,所述多層結構由下至上依次包括下電極層、壓電層和上電極層;其中,在所述襯底和所述多層結構之間形成有腔體,所述腔體包括位于所述襯底上表面之下的下半腔體和超出所述襯底上表面并向所述多層結構突出的上半腔體;所述腔體的厚度為1μm;所述下半腔體由底壁和第一側壁圍成,所述底壁整體與所述襯底表面平行,所述第一側壁為由所述底壁邊緣延伸至所述襯底上表面的第一圓滑曲面;所述第一圓滑曲面包括圓滑過渡連接的第一曲面和第二曲面;其中,過渡區的長度在3μm至5μm之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第十三研究所,其通訊地址為:050051 河北省石家莊市新華區合作路113號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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