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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利使用電壓和電流測量來控制雙區陶瓷基座獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112106181B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980031128.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權使用電壓和電流測量來控制雙區陶瓷基座是由亞倫·德賓;拉梅什·錢德拉塞卡拉;德克·魯道夫;托馬斯·G·朱厄爾設計研發完成，并于2019-05-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本使用電壓和電流測量來控制雙區陶瓷基座在說明書摘要公布了：一種用于襯底處理系統的控制器包括電阻計算模塊，其被配置為：接收分別與襯底支撐件的第一加熱器元件和第二加熱器元件相對應的第一電流和第二電流；接收分別與所述第一加熱器元件和所述第二加熱器元件相對應的第一電壓和第二電壓；基于所述第一電壓和所述第一電流計算所述第一加熱器元件的第一電阻；并且基于所述第二電壓和所述第二電流計算所述第二加熱器元件的第二電阻。溫度控制模塊被配置為分別基于所述第一電阻和所述第二電阻以及相應的在所述第一電阻和所述第二電阻與所述襯底支撐件的第一溫度和第二溫度之間的關系來分開控制提供給所述第一加熱器元件和所述第二加熱器元件的功率。

本發明授權使用電壓和電流測量來控制雙區陶瓷基座在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理系統的控制器，所述控制器包括：電阻計算模塊，其被配置為：i接收分別與襯底支撐件的第一加熱器元件和第二加熱器元件相對應的第一電流和第二電流，ii接收分別與所述第一加熱器元件和所述第二加熱器元件相對應的第一電壓和第二電壓，iii基于所述第一電壓和所述第一電流計算所述第一加熱器元件的第一電阻，并且iv基于所述第二電壓和所述第二電流計算所述第二加熱器元件的第二電阻；溫度計算模塊，其被配置為i基于所述第一電阻和將電阻與溫度相關聯的所存儲的數據來計算所述襯底支撐件的第一區域的第一溫度，ii基于所述第二電阻和所存儲的所述數據來計算所述襯底支撐件的第二區域的第二溫度,iii基于所感測到的溫度與所計算出的所述第一溫度和所述第二溫度中的至少一者之間的比較來選擇性地調節所存儲的所述數據；和溫度控制模塊，其被配置為分別基于所述第一電阻和所述第二電阻以及相應的在i所述第一電阻和所述第一溫度之間的關系和在ii所述第二電阻和所述第二溫度之間的關系來分開控制提供給所述第一加熱器元件和所述第二加熱器元件的功率。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。