恭喜希爾福克斯有限公司陳繼宏獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜希爾福克斯有限公司申請的專利用于等離子體室的L形等離子體約束環獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112534543B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980050977.5，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權用于等離子體室的L形等離子體約束環是由陳繼宏;宋軼設計研發完成，并于2019-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于等離子體室的L形等離子體約束環在說明書摘要公布了：一種用于等離子體室的等離子體約束環包含環形元件和圓柱形元件。所述環形元件環繞所述等離子體室中的襯底支撐組件，并沿著被放置在所述等離子體室中的所述襯底支撐組件上的襯底所在的平面配置，所述環形元件包含多個孔洞。所述等離子體約束環的所述圓柱形元件從所述環形元件的外緣沿與被放置在所述等離子體室中的所述襯底支撐組件上的所述襯底所在的所述平面垂直的方向延伸。所述等離子體約束環為單件式的。
本發明授權用于等離子體室的L形等離子體約束環在權利要求書中公布了：1.一種用于等離子體室的L形等離子體約束環，其包含：用于所述等離子體室的所述L形等離子體約束環的環形元件，所述環形元件環繞所述等離子體室中的襯底支撐組件，并沿著被放置在所述等離子體室中的所述襯底支撐組件上的襯底所在的平面配置，所述環形元件形成所述L形等離子體約束環的水平部分以及包含多個孔洞；以及用于所述等離子體室中的所述L形等離子體約束環的圓柱形元件，所述圓柱形元件形成所述L形等離子體約束環的豎直部分以及從所述環形元件的外緣沿與被放置在所述等離子體室中的所述襯底支撐組件上的所述襯底所在的所述平面垂直的方向延伸，其中所述圓柱形元件均勻地延伸到上端；其中所述上端不在平行于所述平面的任一方向上延伸；并且其中所述圓柱形元件不在所述環形元件下方延伸；其中所述圓柱形元件的上端能連接至所述等離子體室中的上電極，所述上電極沿著所述平面朝向所述圓柱形元件徑向向外延伸；并且其中所述L形等離子體約束環為單件式的。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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