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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專利用于延長目標(biāo)材料遞送系統(tǒng)壽命的裝置和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113170566B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：201980071670.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05G2/00；該發(fā)明授權(quán)用于延長目標(biāo)材料遞送系統(tǒng)壽命的裝置和方法是由G·O·瓦斯琴科;C·拉加古魯;A·I·厄肖夫;J·M·盧肯斯;M·C·亞伯拉罕;B·羅林格設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2019-10-25向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于延長目標(biāo)材料遞送系統(tǒng)壽命的裝置和方法在說明書摘要公布了：公開了一種用于生成EUV輻射的系統(tǒng)，在系統(tǒng)中通過如下控制流過液滴生成器中的噴嘴的孔口320中的目標(biāo)材料的電流：提供針對(duì)電流的交替的較低阻抗路徑和或通過限制施加到液滴生成器的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的高頻分量。

本發(fā)明授權(quán)用于延長目標(biāo)材料遞送系統(tǒng)壽命的裝置和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于生成EUV輻射的裝置，包括：目標(biāo)材料分配器，所述目標(biāo)材料分配器包括限定腔體和孔口的結(jié)構(gòu)，所述腔體被布置為接收目標(biāo)材料，所述孔口被布置為從所述腔體接收目標(biāo)材料，并遞送目標(biāo)材料的液滴流；電可致動(dòng)元件，所述電可致動(dòng)元件機(jī)械地耦合到所述腔體，并且被布置為基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)在所述液滴流中引起速度擾動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成器，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成器電耦合到所述電可致動(dòng)元件以用于供應(yīng)所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，與所述電可致動(dòng)元件相連的電連接件，所述電連接件被布置為控制流過所述孔口處的所述目標(biāo)材料的電流的量；其中所述電可致動(dòng)元件在其外徑上具有外部電極，并且在其內(nèi)徑上具有內(nèi)部電極，并且其中所述內(nèi)部電極通過所述電連接件連接到接地，其中所述外部電極電連接至所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成器。

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