恭喜河南理工大學;南通美精微電子有限公司明平美獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜河南理工大學;南通美精微電子有限公司申請的專利一種電鑄制造超薄金屬網柵的陽極結構和方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111850618B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010918748.5,技術領域涉及:C25D1/00;該發明授權一種電鑄制造超薄金屬網柵的陽極結構和方法是由明平美;張云燕;周濤;李士成;李欣潮;侯亞楠;王偉;肖友平;牛屾設計研發完成,并于2020-09-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種電鑄制造超薄金屬網柵的陽極結構和方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種電鑄制造超薄金屬網柵的陽極結構和方法,屬于電沉積加工領域。該陽極結構包括攪拌槳、嵌設于攪拌槳底部平面中心處的直線狀超微陽極、緊密貼附于攪拌槳和直線狀超微陽極外側的柔性電絕緣層,其特征在于:柔性電絕緣層的貼附在攪拌槳底端平面上的部分設有等間距分布的通透窄縫,其將直線狀超微陽極分為若干個超微陽極陣列,使單個超微陽極下輸出的電流高度集中化和局域化。兩個加工方向上的掃描沉積依次循環交替進行,進而使得不同方向上的多條平行帶狀金屬層交叉堆疊形成類編織狀金屬網柵結構。本發明通過調整窄縫的寬度和間距來實現對金屬網柵尺寸的調控,并通過協同控制陽極運行速度和電流密度來實現金屬網柵的高品質高效制造。
本發明授權一種電鑄制造超薄金屬網柵的陽極結構和方法在權利要求書中公布了:1.一種電鑄制造超薄金屬網柵的方法,其特征在于:它包括以下步驟:S1.將平面基底(1)水平置于電解槽(7)中,將陽極結構(9)置于平面基底(1)的正上方且使其底端平面與平面基底(1)平行,移動陽極結構(9)以使直線狀超微陽極(4)位于平面基底(1)上所設定的起始位置的正上方;S2.調整陽極結構(9)與平面基底(1)間的距離,使柔性電絕緣層(3)的下表面輕微壓貼在平面基底(1)上,并將直線狀超微陽極(4)和平面基底(1)分別與電源(6)的正極和負極相連;S3.調整電解槽(7)中的電解液(8)的液面高度,使電解液(8)的液面高于直線狀超微陽極(4)的最下沿5~10mm;S4.啟動電源(6)的同時,驅動陽極結構(9)在平面基底(1)上按設定行程L1做勻速直線往復運動,此時,平面基底(1)上對應于通透窄縫(3-1)的區域不斷地電沉積出帶狀金屬層A(5-1),當金屬層A(5-1)的厚度達到設定值h1時,陽極結構(9)停止運動并關斷電源(6);S5.降低平面基底(1),并使之相對于直線狀超微陽極(4)轉動一個設定角度,然后移動陽極結構(9)以使其位于平面基底(1)上新的掃描方向和掃描行程的起始位置的正上方,接著抬升平面基底(1)直到柔性電絕緣層(3)的下表面與平面基底(1)輕微壓貼;S6.啟動電源(6)的同時,驅動陽極結構(9)在平面基底(1)上按設定行程L2做勻速直線往復運動,此時,平面基底(1)上對應于通透窄縫(3-1)的區域不斷地電沉積出帶狀金屬層B(5-2),并當金屬層B(5-2)的厚度達到設定值h1時,陽極結構(9)停止運動并關斷電源(6);S7.降低平面基底(1),并使之相對于直線狀超微陽極(4)轉回到S4步驟時的位置,然后移動陽極結構(9)以使其位于平面基底(1)上S4步驟的掃描運動的起始位置的正上方,接著抬升平面基底(1)直到柔性電絕緣層(3)的下表面與平面基底(1)輕微壓貼,啟動電源(6)的同時驅動陽極結構(9)按設定行程L1做勻速直線往復運動,當金屬層A(5-1)的厚度達到設定值h2時,陽極結構(9)停止運動并關斷電源(6);S8.降低平面基底(1),并使之相對于直線狀超微陽極(4)轉回到S5步驟時的位置,然后移動陽極結構(9)以使其位于平面基底(1)上S5步驟的掃描運動的起始位置的正上方,接著抬升平面基底(1)直到柔性電絕緣層(3)的下表面與平面基底(1)輕微壓貼,啟動電源(6)的同時驅動陽極結構(9)按設定行程L2做勻速直線往復運動,當金屬層B(5-2)的厚度達到設定值h2時,陽極結構(9)停止運動并關斷電源(6);S9.依次循環重復步驟S7和步驟S8的操作,直到金屬層A(5-1)和金屬層B(5-2)的總厚度值均達到設定值H,此時,陽極結構(9)停止運動并關斷電源(6);S10.取出平面基底(1),清洗干燥后,把交叉堆疊的金屬層A(5-1)金屬層B(5-2)從平面基底(1)上剝離,得到最終的超薄金屬網柵(5)。
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