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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利接合系統(tǒng)和重合基板的檢查方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114556537B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080070229.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)接合系統(tǒng)和重合基板的檢查方法是由大塚慶崇;鶴田茂登;三村勇之;前田浩史;真鍋英二;日詰久則;篠塚真一;田上裕憲設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本接合系統(tǒng)和重合基板的檢查方法在說明書摘要公布了：本公開的接合系統(tǒng)1具備接合裝置41、檢查裝置80以及控制部70。接合裝置通過將第一基板W1與第二基板W2接合來形成重合基板T。檢查裝置進(jìn)行重合基板的檢查。控制部控制檢查裝置。另外，控制部具備測(cè)定控制部71a、比較部71c以及再測(cè)定控制部71e。測(cè)定控制部使檢查裝置以第一測(cè)定點(diǎn)數(shù)量進(jìn)行重合基板的測(cè)定。比較部將包括根據(jù)測(cè)定的結(jié)果導(dǎo)出的重合基板中的第一基板與第二基板之間的偏移量的檢查結(jié)果72a與參考72b進(jìn)行比較。再測(cè)定控制部基于比較部的比較結(jié)果，使檢查裝置以比第一測(cè)定點(diǎn)數(shù)量多的第二測(cè)定點(diǎn)數(shù)量進(jìn)行重合基板的再測(cè)定。

本發(fā)明授權(quán)接合系統(tǒng)和重合基板的檢查方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種接合系統(tǒng)，具備：接合裝置，其通過將第一基板與第二基板接合來形成重合基板；檢查裝置，其進(jìn)行所述重合基板的檢查；以及控制部，其控制所述檢查裝置，其中，所述控制部具備：測(cè)定控制部，其使所述檢查裝置以第一測(cè)定點(diǎn)數(shù)量進(jìn)行所述重合基板的測(cè)定；比較部，其將包括根據(jù)所述測(cè)定的結(jié)果導(dǎo)出的所述重合基板中的所述第一基板與所述第二基板之間的偏移量的檢查結(jié)果與參考進(jìn)行比較；以及再測(cè)定控制部，其基于所述比較部的比較結(jié)果，使所述檢查裝置以比所述第一測(cè)定點(diǎn)數(shù)量多的第二測(cè)定點(diǎn)數(shù)量進(jìn)行所述重合基板的再測(cè)定。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。