恭喜東京毅力科創株式會社大塚慶崇獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利接合系統和重合基板的檢查方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114556537B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080070229.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權接合系統和重合基板的檢查方法是由大塚慶崇;鶴田茂登;三村勇之;前田浩史;真鍋英二;日詰久則;篠塚真一;田上裕憲設計研發完成，并于2020-09-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本接合系統和重合基板的檢查方法在說明書摘要公布了：本公開的接合系統1具備接合裝置41、檢查裝置80以及控制部70。接合裝置通過將第一基板W1與第二基板W2接合來形成重合基板T。檢查裝置進行重合基板的檢查。控制部控制檢查裝置。另外，控制部具備測定控制部71a、比較部71c以及再測定控制部71e。測定控制部使檢查裝置以第一測定點數量進行重合基板的測定。比較部將包括根據測定的結果導出的重合基板中的第一基板與第二基板之間的偏移量的檢查結果72a與參考72b進行比較。再測定控制部基于比較部的比較結果，使檢查裝置以比第一測定點數量多的第二測定點數量進行重合基板的再測定。
本發明授權接合系統和重合基板的檢查方法在權利要求書中公布了：1.一種接合系統，具備：接合裝置，其通過將第一基板與第二基板接合來形成重合基板；檢查裝置，其進行所述重合基板的檢查；以及控制部，其控制所述檢查裝置，其中，所述控制部具備：測定控制部，其使所述檢查裝置以第一測定點數量進行所述重合基板的測定；比較部，其將包括根據所述測定的結果導出的所述重合基板中的所述第一基板與所述第二基板之間的偏移量的檢查結果與參考進行比較；以及再測定控制部，其基于所述比較部的比較結果，使所述檢查裝置以比所述第一測定點數量多的第二測定點數量進行所述重合基板的再測定。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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