三星SDI株式會社崔有廷獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉三星SDI株式會社申請的專利抗蝕劑底層組合物和使用所述組合物形成圖案的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113138532B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110056902.7,技術領域涉及:G03F7/004;該發明授權抗蝕劑底層組合物和使用所述組合物形成圖案的方法是由崔有廷;權純亨;樸賢;白載烈;金旼秀;裵信孝;宋大錫;安度源設計研發完成,并于2021-01-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本抗蝕劑底層組合物和使用所述組合物形成圖案的方法在說明書摘要公布了:本發明公開一種抗蝕劑底層組合物,包含:A包含由化學式1表示的結構單元、由化學式2表示的化合物或其組合的聚合物;B包含其中由化學式3或化學式4表示的部分中的至少一個和由化學式7表示的部分彼此鍵結的結構的聚合物;以及C溶劑;且還公開一種使用抗蝕劑底層組合物形成圖案的方法,化學式1到化學式4和化學式7的定義如說明書中所描述。
本發明授權抗蝕劑底層組合物和使用所述組合物形成圖案的方法在權利要求書中公布了:1.一種抗蝕劑底層組合物,包括:A包含由化學式1表示的結構單元、由化學式2表示的化合物或其組合的聚合物;B包含其中由化學式3或化學式4表示的部分中的至少一個和由化學式7表示的部分彼此鍵結的結構的聚合物;以及C溶劑:[化學式1] 其中,在化學式1中,R1和R2獨立地為羥基、經取代或未經取代的C1到C20烷氧基、鹵素、經取代或未經取代的C1到C20烷基、經取代或未經取代的C2到C30烯基、經取代或未經取代的C2到C20炔基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的C6到C30雜芳基或其組合,L1和L2獨立地為單鍵、經取代或未經取代的C1到C20亞烷基、經取代或未經取代的C3到C20亞環烷基、經取代或未經取代的C6到C30亞芳基、經取代或未經取代的C1到C20亞雜烷基、經取代或未經取代的C2到C20亞雜環烷基、經取代或未經取代的C2到C30亞雜芳基或其組合,且*為鍵聯點;[化學式2] 其中,在化學式2中,R3到R6獨立地為羥基、硫醇基、氰基、經取代或未經取代的氨基、鹵素原子、經取代或未經取代的C1到C30烷基、經取代或未經取代的C1到C30烷氧基、經取代或未經取代的C6到C30芳基或其組合,且L3為單鍵、經取代或未經取代的C1到C30亞烷基、經取代或未經取代的C6到C30亞芳基或其組合;[化學式3] [化學式4] 其中,在化學式3和化學式4中,Ra和Rb獨立地為氫、氘、經取代或未經取代的C1到C10烷基、經取代或未經取代的C2到C20烯基、經取代或未經取代的C2到C20炔基、經取代或未經取代的C3到C20環烷基、經取代或未經取代的C6到C20芳基、經取代或未經取代的C1到C10雜烷基、經取代或未經取代的C2到C20雜烯基、經取代或未經取代的C3到C20雜環烷基、或經取代或未經取代的C6到C20雜芳基或其組合,Rc為以下各項:末端基團,為經取代或未經取代的C1到C10烷基、經取代或未經取代的C2到C20烯基、經取代或未經取代的C2到C20炔基、經取代或未經取代的C3到C20環烷基、經取代或未經取代的C1到C10雜烷基、經取代或未經取代的C2到C20雜烯基、經取代或未經取代的C3到C20雜環烷基或其組合;由鍵聯到所述末端基團的化學式5或化學式6表示的結構單元;或由其組合表示的基團,且化學式3或化學式4在每一個*位置處鍵聯到由化學式7中的*所指示的點;[化學式5] [化學式6] 其中,在化學式5和化學式6中,L3和L4獨立地為經取代或未經取代的C1到C20亞烷基、經取代或未經取代的C1到C20亞雜烷基或其組合,Ra和Rb獨立地與化學式3和化學式4中定義的相同,且*為鍵聯點;[化學式7] 其中,在化學式7中,A為單鍵、經取代或未經取代的C1到C10亞烷基、-C=O-、-COO-、-OCOO-或其組合,X為單鍵、-O-、-S-、-S=O-、-S=O2-、-C=O-、-COO-、-OCOO-、-NR-或其組合,其中R為氫、氘或C1到C10烷基,Rd為氫、氘、鹵素、羥基、氰基、硝基、氨基、環氧基、甲基丙烯酸酯基、氧雜環丁烷基、硫醇基、羧基、經取代或未經取代的C1到C30烷基、經取代或未經取代的C2到C30烯基、經取代或未經取代的C2到C30炔基、經取代或未經取代的C1到C10烷氧基、經取代或未經取代的C3到C10環烷基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的C6到C30芳氧基或其組合,Re為氫、氘以及C1到C10烷基中的一個,n1為1到10,000,且*鍵聯到化學式3或化學式4,或鍵聯到氫、氘、鹵素、羥基、氰基、硝基、氨基、環氧基、甲基丙烯酸酯基、氧雜環丁烷基、硫醇基、羧基、經取代或未經取代的C1到C30烷基、經取代或未經取代的C2到C30烯基、經取代或未經取代的C2到C30炔基、經取代或未經取代的C1到C10烷氧基、經取代或未經取代的C3到C10環烷基、經取代或未經取代的C6到C30芳基、經取代或未經取代的C6到C30芳氧基或其組合,前提是化學式3或化學式4中的至少一個鍵聯到化學式7中的*。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人三星SDI株式會社,其通訊地址為:韓國京畿道龍仁市器興區貢稅路150-20號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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