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龍圖騰網(wǎng)恭喜未來(lái)寶株式會(huì)社申請(qǐng)的專利在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114823262B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110289932.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置是由趙宰孝;李妍周;孫平熙;金真雄設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-03-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置，適用本發(fā)明的在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置，其特征在于，包括：外殼，用于對(duì)所流入的未反應(yīng)氣體進(jìn)行收容和排出；加熱器，位于外殼的內(nèi)側(cè)，在利用以雙重結(jié)構(gòu)放射狀排列的擴(kuò)散器對(duì)所流入的氣體進(jìn)行擴(kuò)散的同時(shí)對(duì)氣體進(jìn)行均勻加熱；以及，內(nèi)部捕獲塔，垂直排列有由放射狀排列且單位面積上的表面積較寬的結(jié)構(gòu)型捕獲板以及為了對(duì)氣體流進(jìn)行集中或分散排出而在中央部或以放射狀排列形成有排氣孔的捕獲盤構(gòu)成的第1盤型捕獲部至第5盤型捕獲部。

本發(fā)明授權(quán)在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種在有機(jī)膜沉積工程中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物的捕獲裝置，其特征在于：作為在半導(dǎo)體制造工程中接收在用于執(zhí)行有機(jī)膜沉積工程的制程腔體內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)之后排出的未反應(yīng)氣體的供應(yīng)，接下來(lái)在利用加熱器進(jìn)行加熱之后在捕獲可用空間中對(duì)溫度下降的顆粒狀態(tài)的反應(yīng)副產(chǎn)物進(jìn)行捕獲并對(duì)剩余氣體進(jìn)行排出的捕獲裝置，包括：外殼1，用于對(duì)所流入的未反應(yīng)氣體進(jìn)行收容和排出；加熱器2，位于外殼的內(nèi)側(cè)，在利用以徑向雙重放射狀排列的擴(kuò)散器對(duì)所流入的氣體進(jìn)行擴(kuò)散的同時(shí)對(duì)氣體進(jìn)行均勻加熱；以及，內(nèi)部捕獲塔3，垂直排列有由放射狀排列的結(jié)構(gòu)型捕獲板，且所述結(jié)構(gòu)型捕獲板在水平方向的單位面積上的表面積大于捕獲盤，以及為了對(duì)氣體流進(jìn)行集中或分散排出而在中央部或以放射狀排列形成有排氣孔的捕獲盤構(gòu)成的第1盤型捕獲部31、第2盤型捕獲部32、第3盤型捕獲部33、第4盤型捕獲部34以及第5盤型捕獲部35，其中，上述第2盤型捕獲部32通過(guò)以放射狀排列的多個(gè)結(jié)構(gòu)型捕獲板321將所供應(yīng)過(guò)來(lái)的氣體流導(dǎo)向到外側(cè)方向，接下來(lái)利用沿著捕獲盤322的周圍形成的傾斜型導(dǎo)向器323對(duì)從上部或側(cè)面方向供應(yīng)過(guò)來(lái)的氣體流進(jìn)行阻擋并重新聚攏到內(nèi)側(cè)而使其停滯，并通過(guò)沿著以放射狀排列的結(jié)構(gòu)型捕獲板321以放射狀排列的長(zhǎng)孔形態(tài)排氣孔322a均勻地排出到下部，從而通過(guò)結(jié)構(gòu)型捕獲板321以及捕獲盤322以薄膜形態(tài)均勻地對(duì)反應(yīng)副產(chǎn)物進(jìn)行捕獲。

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