買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉未來寶株式會社申請的專利在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114823262B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110289932.2，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置是由趙宰孝;李妍周;孫平熙;金真雄設計研發完成，并于2021-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及一種在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置，適用本發明的在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置，其特征在于，包括：外殼，用于對所流入的未反應氣體進行收容和排出；加熱器，位于外殼的內側，在利用以雙重結構放射狀排列的擴散器對所流入的氣體進行擴散的同時對氣體進行均勻加熱；以及，內部捕獲塔，垂直排列有由放射狀排列且單位面積上的表面積較寬的結構型捕獲板以及為了對氣體流進行集中或分散排出而在中央部或以放射狀排列形成有排氣孔的捕獲盤構成的第1盤型捕獲部至第5盤型捕獲部。

本發明授權在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置在權利要求書中公布了：1.一種在有機膜沉積工程中產生的反應副產物的捕獲裝置，其特征在于：作為在半導體制造工程中接收在用于執行有機膜沉積工程的制程腔體內進行反應之后排出的未反應氣體的供應，接下來在利用加熱器進行加熱之后在捕獲可用空間中對溫度下降的顆粒狀態的反應副產物進行捕獲并對剩余氣體進行排出的捕獲裝置，包括：外殼1，用于對所流入的未反應氣體進行收容和排出；加熱器2，位于外殼的內側，在利用以徑向雙重放射狀排列的擴散器對所流入的氣體進行擴散的同時對氣體進行均勻加熱；以及，內部捕獲塔3，垂直排列有由放射狀排列的結構型捕獲板，且所述結構型捕獲板在水平方向的單位面積上的表面積大于捕獲盤，以及為了對氣體流進行集中或分散排出而在中央部或以放射狀排列形成有排氣孔的捕獲盤構成的第1盤型捕獲部31、第2盤型捕獲部32、第3盤型捕獲部33、第4盤型捕獲部34以及第5盤型捕獲部35，其中，上述第2盤型捕獲部32通過以放射狀排列的多個結構型捕獲板321將所供應過來的氣體流導向到外側方向，接下來利用沿著捕獲盤322的周圍形成的傾斜型導向器323對從上部或側面方向供應過來的氣體流進行阻擋并重新聚攏到內側而使其停滯，并通過沿著以放射狀排列的結構型捕獲板321以放射狀排列的長孔形態排氣孔322a均勻地排出到下部，從而通過結構型捕獲板321以及捕獲盤322以薄膜形態均勻地對反應副產物進行捕獲。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人未來寶株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市振威面振威產團路32；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。