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龍圖騰網(wǎng)恭喜長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法、裝置、檢測(cè)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114897799B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210436386.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法、裝置、檢測(cè)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)是由付伶伶;陳金星;趙哲;汪嚴(yán)莉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-04-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法、裝置、檢測(cè)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)的實(shí)施方式提供了一種用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法、裝置、檢測(cè)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。本申請(qǐng)的部分實(shí)施方式中，用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法包括：檢測(cè)晶圓的待測(cè)圖像中晶圓的邊緣上的像素；從邊緣上的像素中選取多個(gè)像素，并確定所選取的多個(gè)像素中相鄰的像素之間的像素路徑；以及基于像素路徑確定晶圓是否存在缺陷。通過上述實(shí)施方式，檢測(cè)設(shè)備可自動(dòng)檢測(cè)晶圓邊緣的缺陷。

本發(fā)明授權(quán)用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法、裝置、檢測(cè)設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于晶圓的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，包括：檢測(cè)所述晶圓的待測(cè)圖像中所述晶圓的邊緣上的像素；從所述邊緣上的像素中選取多個(gè)像素，并確定所選取的多個(gè)像素中相鄰的像素之間的像素路徑；以及基于所述像素路徑確定所述晶圓是否存在缺陷；其中，從所述邊緣上的像素中選取多個(gè)像素，并確定所選取的多個(gè)像素中相鄰的像素之間的像素路徑包括：檢測(cè)出所述邊緣的圓心和半徑；以所述圓心和所述邊緣上任意選擇的一個(gè)像素的連線為旋轉(zhuǎn)線，以所述圓心為頂點(diǎn)，對(duì)所述旋轉(zhuǎn)線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，選擇與所述旋轉(zhuǎn)線末端重合的像素作為用于確定所述像素路徑的像素，直至所述旋轉(zhuǎn)線轉(zhuǎn)回起始位置；以及依次連接各個(gè)所述像素，得到各個(gè)所述像素之間的所述像素路徑。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。