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龍圖騰網恭喜浙江大學申請的專利基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115128301B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210522287.9，技術領域涉及：G01P15/08；該發明授權基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片是由佘玄;劉亞康;孫培基;畢然;陳侃;舒曉武設計研發完成，并于2022-05-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片。包括寬譜光源、模斑轉換器、光隔離器、敏感單元、上電極、下電極、F?P腔、第一Y波導、第二Y波導、2:1型Y波導、第一光功率計、第二光功率計、解調反饋電路、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅氧化層、硅襯底、封裝外殼。本發明具有兩個獨立的光學諧振腔：施加x向加速度，第一環形波導與橢圓盤間距改變，造成諧振波長的偏移，可以同時獲得加速度的大小與方向；兩個諧振腔的半徑有微小差異，利用光學諧振腔輸出光干涉產生的游標效應可以放大第一環形波導諧振波長的頻移信號。本發明體積小、精度高、制造工藝簡單，抗電磁干擾，有較高的可靠性。

本發明授權基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片在權利要求書中公布了：1.一種基于級聯雙環諧振腔游標效應的光學加速度計芯片，其特征在于，硅襯底、二氧化硅氧化層和鈮酸鋰單晶薄膜層從下至上依次層疊布置，二氧化硅氧化層和鈮酸鋰單晶薄膜層共同刻蝕形成敏感單元；所述敏感單元包括蛇形懸臂梁、質量塊、第一環形波導、第二環形波導、第一直波導和微橢圓盤；鈮酸鋰單晶薄膜層的上表面通過刻蝕形成第一直波導，第一直波導的一端與光隔離器相連，第一直波導的另一端與F-P腔相連，第一直波導一側的二氧化硅氧化層和鈮酸鋰單晶薄膜層共同刻蝕形成蛇形懸臂梁和質量塊，質量塊的兩側分別與對應的蛇形懸臂梁相連，蛇形懸臂梁用于支撐質量塊，質量塊與蛇形懸臂梁的底部懸空，質量塊與第一直波導之間間隔布置，質量塊中部的鈮酸鋰單晶薄膜層上表面刻蝕形成第一環形波導，第一環形波導的內圈設置有微橢圓盤，微橢圓盤與質量塊之間的二氧化硅氧化層和鈮酸鋰單晶薄膜層均被腐蝕掉，使得微橢圓盤與質量塊之間間隔布置，微橢圓盤的底部不懸空；第一環形波導、第二環形波導和微橢圓盤的圓心在一條直線上并且微橢圓盤的長軸在該條直線上；第一直波導一側靠近下電極一端的鈮酸鋰單晶薄膜層的上表面通過刻蝕形成第二環形波導，第二環形波導與第一直波導之間間隔布置，第二環形波導與最靠近下電極一端的蛇形懸臂梁間隔布置；所述微橢圓盤的圓心與第一環形波導的圓心之間距離150-220nm。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學，其通訊地址為：310058 浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。