恭喜上海交通大學(xué)胡志宇獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海交通大學(xué)申請的專利一種二維過渡金屬硫族化合物及其制備和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115537920B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202211345215.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C30B25/18;該發(fā)明授權(quán)一種二維過渡金屬硫族化合物及其制備和應(yīng)用是由胡志宇;張帥;吳振華;羅思遠;劉澤昆;劉妍;施慧烈;傅理夫設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-10-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種二維過渡金屬硫族化合物及其制備和應(yīng)用在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種二維過渡金屬硫族化合物及其制備和應(yīng)用,利用硫族單質(zhì)和過渡金屬單質(zhì)作為靶源,通過分子束外延技術(shù),結(jié)合分步蒸發(fā)和后蒸發(fā)的策略,在襯底上進行氣相沉積,從而得到高質(zhì)量,大尺寸的二維過渡金屬硫族化合物薄膜材料。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明制備得到的薄膜形貌為少層平面結(jié)構(gòu)、多層納米棒結(jié)構(gòu)或者多層納米管結(jié)構(gòu),整個方法簡單,高效,產(chǎn)物質(zhì)量高,在高性能微納器件、場效應(yīng)晶體管、光電探測和集成電路等領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用前景。
本發(fā)明授權(quán)一種二維過渡金屬硫族化合物及其制備和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了:1.一種二維過渡金屬硫族化合物的制備方法,其特征在于,所述二維過渡金屬硫族化合物用于可見光-太赫茲的超寬譜高效探測的光電探測器領(lǐng)域中;所述二維過渡金屬硫族化合物為硒化鈀,呈多層納米棒結(jié)構(gòu)或者多層納米管結(jié)構(gòu);所述二維過渡金屬硫族化合物的制備方法包括以下步驟:選用三寸硅片作為襯底,并用氫氟酸,丙酮,去離子水洗去襯底表面污漬,將襯底在100℃條件下真空退火12h;將襯底固定在基底上,并置于分子束外延設(shè)備真空腔體內(nèi),將高純硫族單質(zhì)硒置于第一束源爐中,將高純過渡金屬單質(zhì)鈀置于第二束源爐中;對分子束外延設(shè)備腔體進行多級抽真空處理,使得本體真空度達到10-8pa;設(shè)置基底溫度500℃,基底旋轉(zhuǎn)速度為0radmin;使用分步蒸發(fā)法沉積薄膜,首先關(guān)閉第一束源爐,打開第二束源爐,設(shè)置第二束源爐的溫度1157℃,沉積速度為沉積時間40min,得到鈀層,然后關(guān)閉第二束源爐,打開第一束源爐,設(shè)置第一束源爐的溫度125℃,沉積速度為沉積時間60min,硒原子插入鈀原子之間形成過渡金屬硫族化合物硒化鈀;使用后蒸發(fā)法處理上述形成的薄膜,關(guān)閉第二束源爐,打開第一束源爐,設(shè)置第一束源爐的溫度125℃,沉積速度為或沉積時間90min或200min;關(guān)閉第一束源爐和第二束源爐,對上述薄膜進行熱退火處理,將基底溫度降至400℃,保溫60min,繼續(xù)降至300℃,保溫60min,隨后降至室溫。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人上海交通大學(xué),其通訊地址為:200240 上海市閔行區(qū)東川路800號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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