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龍圖騰網(wǎng)恭喜星弧涂層新材料科技(蘇州)股份有限公司申請的專利復合阻氫涂層加工方法及復合阻氫涂層獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116005108B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211509520.6，技術領域涉及：C23C14/06；該發(fā)明授權(quán)復合阻氫涂層加工方法及復合阻氫涂層是由錢政羽;錢濤設計研發(fā)完成，并于2022-11-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本復合阻氫涂層加工方法及復合阻氫涂層在說明書摘要公布了：本發(fā)明揭示了復合阻氫涂層加工方法及復合阻氫涂層，其中加工方法得到的第三阻氫層不存在晶體材料的晶界缺陷，具有極佳的阻氫性能，其為表層能夠極大地增加滲透表層的難度；第一、第二阻氫層采用閉合非平衡磁控濺射工藝加工，使得它們的晶粒尺寸更細小，涂層致密性高，能夠使它們自身的阻氫性能極大改善；將三種阻氫層疊加在一起，使得氫原子滲透到不同層的滲透難度呈幾何倍數(shù)的增加。采用相對較低的工藝溫度，一來，使得第一、第二阻氫層的晶粒不會過渡增大從而獲得晶粒小且密實的涂層，二來，可以保證第三阻氫層具有足夠的硬度及避免溫度過高容易使基材回火導致易變形進而使所述第一、第二、第三阻氫層受影響失效的問題。

本發(fā)明授權(quán)復合阻氫涂層加工方法及復合阻氫涂層在權(quán)利要求書中公布了：1.復合阻氫涂層加工方法，其特征在于：包括如下步驟：S1，對基材進行清洗；S2，采用閉合非平衡磁控濺射工藝在清洗后的基材上沉積得到第一阻氫層；S3，采用閉合非平衡磁控濺射工藝在所述第一阻氫層上沉積得到第二阻氫層；S4，在所述第二阻氫層上沉積得到第三阻氫層，所述第三阻氫層為非晶態(tài)結(jié)構(gòu)；在沉積第一阻氫層、第二阻氫層及第三阻氫層時，控制沉積溫度不超過200℃；所述S1包括如下步驟：S11，將基材置于沉積爐內(nèi)的轉(zhuǎn)架上；S12，將沉積爐抽真空至預定的真空度；S13，向沉積爐內(nèi)充入氬氣至沉積爐內(nèi)的氣壓處于0.6-1.5Pa之間；S14，開啟偏壓電源及離子束源實現(xiàn)偏壓輝光清洗和離子束清洗同時對基材進行清洗；所述真空室內(nèi)設置的離子束源為陽極層離子源且它們均勻分布在工件架周圍；所述偏壓電源工作時的電壓在700-2000V之間；所述離子束源工作時的電壓在300-2000V之間；所述陽極層離子源的內(nèi)陰極和外陰極的水平距離在4-8mm之間，陰陽極在高度方向上的距離在4-8mm之間；所述真空室內(nèi)的氣壓在0.6-10Pa之間。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人星弧涂層新材料科技(蘇州)股份有限公司，其通訊地址為：215122 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星華產(chǎn)業(yè)園5號樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。