恭喜萬華化學集團股份有限公司周霖獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜萬華化學集團股份有限公司申請的專利一種用于硅晶圓的減薄裝置和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115847197B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211695679.1，技術領域涉及：B24B1/00；該發明授權一種用于硅晶圓的減薄裝置和方法是由周霖;宗芳;毛智斌;衣容琪;李博;馮帆設計研發完成，并于2022-12-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于硅晶圓的減薄裝置和方法在說明書摘要公布了：本申請提出了一種用于硅晶圓的減薄裝置和方法，用于硅晶圓的減薄裝置包括磨牙加載架，所述磨牙加載架呈長桿狀，并用于圍繞垂直穿過硅晶圓的圓心的旋轉軸進行旋轉；設置在所述磨牙加載架的下壁面上的磨牙，其中，所述磨牙加載架構造為沿著硅晶圓的直徑方向遠離或者靠近所述旋轉軸以調節位置，該用于硅晶圓的減薄裝置位置設置到位后，只繞固定的旋轉軸進行旋轉運動，直至到研磨深度，操作過程簡單方便易于實現。
本發明授權一種用于硅晶圓的減薄裝置和方法在權利要求書中公布了：1.一種用于硅晶圓的減薄裝置，其特征在于，包括：磨牙加載架，所述磨牙加載架呈長桿狀，并用于圍繞垂直穿過硅晶圓的圓心的旋轉軸進行旋轉，設置在所述磨牙加載架的下壁面上的磨牙，其中，所述磨牙加載架構造為沿著硅晶圓的直徑方向遠離或者靠近所述旋轉軸以調節位置，所述磨牙加載架至少為三個，并在周向上均勻陣列分布，各所述磨牙加載架的內端與周向上相鄰的上一個所述磨牙加載架滑動式連接，所有所述磨牙加載架的內端段連接成N邊形，其中N與所述磨牙加載架的數量相等，在各所述磨牙加載架的側壁上設置有沿著自身軸向延伸的第一滑道，并且周向上相鄰的下一個所述磨牙加載架的內端頭插入到所述第一滑道內以形成滑動式連接，在各所述磨牙加載架的內端頭與相配合的一個所述磨牙加載架之間設置有用于限定所述磨牙加載架的內端頭位置的鎖緊組件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人萬華化學集團股份有限公司，其通訊地址為：264006 山東省煙臺市經濟技術開發區重慶大街59號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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