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龍圖騰網(wǎng)恭喜中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司申請(qǐng)的專利一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法、裝置及應(yīng)用獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116534863B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310366991.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C01B33/107；該發(fā)明授權(quán)一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法、裝置及應(yīng)用是由王云飛;樊文端;秦海慶;史曉梅;田偉雄;李旭;李鑫;孔憲然設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-04-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法、裝置及應(yīng)用在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法、裝置及應(yīng)用，所述方法采用單級(jí)多層吸附結(jié)合一級(jí)多層分離塔精餾的方式徹底的去除硅烷和乙硅烷混合氣中的氫氣、氮?dú)狻⒀鯕?、氨氣、金屬等雜質(zhì)，使得總雜質(zhì)含量小于1ppm，且同時(shí)獲得純度99.9999％及以上級(jí)別的硅烷和乙硅烷氣體。本發(fā)明裝置主要包括多層吸附塔5、再生氣儲(chǔ)罐16、多層分離塔23、硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐28和乙硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐35。本發(fā)明裝置適合沸點(diǎn)差異30℃及以上的兩種物質(zhì)的分離，尤其適用于硅烷和乙硅烷分離。本發(fā)明同時(shí)得到純度99.9999％及以上級(jí)的高純硅烷和乙硅烷。該方法易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。

本發(fā)明授權(quán)一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法、裝置及應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種高效獲得硅烷和乙硅烷的純化方法，其特征在于，包括以下步驟：S1，設(shè)置多層吸附塔（5）、再生氣儲(chǔ)罐（16）、多層分離塔（23）、硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（28）和乙硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（35）的溫度100~200℃，然后采用惰性氣體對(duì)整個(gè)裝置進(jìn)行置換處理，然后抽真空至-0.099Mpa及以下；所述多層吸附塔（5）設(shè)置有4層填料，每層填料高度2~2.5m；其中每層填料又由四部分組成，分別為硅膠、γ-氧化鋁、碳納米管和分子篩，其中硅膠粒徑3~5mm，γ-氧化鋁粒徑2~4mm，碳納米管粒徑2~3mm，分子篩粒徑1~2mm；S2，開啟硅烷和乙硅烷混合氣原料瓶（1）出氣閥，經(jīng)過(guò)多層吸附塔進(jìn)料流量計(jì)（42）和多層吸附塔進(jìn)料調(diào)節(jié)閥（2），向多層吸附塔（5）通入硅烷含量30%~60%混合原料氣體，進(jìn)行吸附操作；進(jìn)氣流量0~40kgh；S3，經(jīng)多層吸附塔吸附后的氣體，依次經(jīng)過(guò)分離塔過(guò)濾器（48）、分離塔流量計(jì)（43）、分離塔調(diào)節(jié)閥（18）和分離塔管線（19）進(jìn)入到多層分離塔（23），流量0~40kgh；S4，經(jīng)過(guò)多層分離塔純化后，高純硅烷經(jīng)硅烷收集管線（27），經(jīng)硅烷收集流量計(jì)（45）、硅烷收集調(diào)節(jié)閥（26）和硅烷收集過(guò)濾器（46），收集至硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（28），收集流量0~18kgh；高純乙硅烷經(jīng)乙硅烷收集管線（34）依次通過(guò)乙硅烷收集流量計(jì)（44）、乙硅烷收集調(diào)節(jié)閥（33）和乙硅烷收集過(guò)濾器（47），收集至乙硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（35），收集流量0~18kgh；硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（28）設(shè)有硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐分析管線（32），乙硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐（35）設(shè)有乙硅烷產(chǎn)品儲(chǔ)罐分析管線（39），兩條分析管線用于對(duì)硅烷和乙硅烷進(jìn)行分析檢測(cè)；對(duì)于多層分離塔頂部富集的雜質(zhì)通過(guò)多層分離塔頂部除輕管線（24）和多層分離塔頂部除輕調(diào)節(jié)閥（25）排至回收罐；多層分離塔釜底富集的雜質(zhì)通過(guò)底部除重管線（21）和多層分離塔底部除重管線調(diào)節(jié)閥（20）排至回收罐。

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