買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜無錫學院申請的專利一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119124086B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411625317.4，技術領域涉及：G01B21/30；該發明授權一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置是由韓基泰;李鵬;湯思達;馬味敏;朱奎;李寅;于敏;張凱文設計研發完成，并于2024-11-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置，涉及平面度檢測領域，解決了現有的平面度檢測裝置易造成晶圓崩邊的問題，包括：裝置底座與固定安裝于裝置底座頂部的移動臺，移動臺的移動端固定安裝有底架，底架的頂部固定安裝有放置座，裝置底座的頂部固定安裝有安裝架，安裝架的外側固定安裝有電動伸縮桿，電動伸縮桿的輸出端固定安裝有檢測探頭；還包括：定料機構，用于對放置座上的晶圓定位吸附，定料機構安裝于放置座的內側；本發明通過定料機構，能夠對放置座上的晶圓固定在放置座上，便于移動臺帶動底架上的放置座在檢測探頭的下方作水平移動，解決晶圓的側邊出現碰撞的問題，從而達到了提高檢測精確性與便于取料的效果。

本發明授權一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓磨削后的平面度檢測裝置，其特征在于，包括：裝置底座（1）與固定安裝于所述裝置底座（1）頂部的移動臺（2），所述移動臺（2）的移動端固定安裝有底架（3），所述底架（3）的頂部固定安裝有放置座（4），所述裝置底座（1）的頂部固定安裝有安裝架（5），所述安裝架（5）的外側固定安裝有電動伸縮桿（6），所述電動伸縮桿（6）的輸出端固定安裝有檢測探頭（7）；還包括：定料機構，用于對所述放置座（4）上的晶圓定位吸附，所述定料機構安裝于所述放置座（4）的內側，所述定料機構包括滑動安裝于所述放置座（4）內側的滑臺（8），所述滑臺（8）的外側設置有凸環，所述凸環與所述放置座（4）的內側相接觸，所述放置座（4）為空心結構，所述放置座（4）的內側固定安裝有定位盤（9），所述定位盤（9）的底部與所述放置座（4）的底部之間轉動安裝有螺桿（10），所述滑臺（8）的底部固定安裝有四個呈中心對稱分布的推桿（11），所述推桿（11）滑動貫穿所述定位盤（9），四個所述推桿（11）的底端之間固定安裝有與所述螺桿（10）相配合的移動塊（12），所述安裝架（5）的內側固定安裝有電機（31），所述電機（31）的輸出端與所述螺桿（10）的底端固定連接，所述滑臺（8）的內側固定安裝有四個呈中心對稱分布的吸氣管（39），所述吸氣管（39）的外側滑動安裝有延伸至所述滑臺（8）下方的套筒（13），所述定位盤（9）的底部固定安裝有電動氣泵（14），所述電動氣泵（14）通過連接管與四個所述套筒（13）對接，所述套筒（13）的內側還設置有用于關閉所述吸氣管（39）的密封組件；抬料機構，用于將所述放置座（4）上的晶圓抬起取料，所述抬料機構安裝于所述放置座（4）的內側，所述抬料機構包括滑動安裝于所述滑臺（8）內側的頂桿（15），所述頂桿（15）的頂部固定安裝有頂板（16），所述滑臺（8）的頂部設置有橡膠板（17），所述橡膠板（17）的表面開設有與四個所述吸氣管（39）相對應的吸氣孔，所述橡膠板（17）的底部固定安裝有四個呈中心對稱分布的插桿（18），所述滑臺（8）頂部開設有供所述插桿（18）限位插接的插槽，所述頂桿（15）的外側固定安裝有滑環（19），所述滑環（19）的頂部與所述滑臺（8）的內側之間固定安裝有彈簧一（20），所述滑臺（8）的內側滑動安裝有四個呈中心對稱分布的推塊（21），所述推塊（21）靠近所述頂桿（15）的一側固定安裝有抵桿（22），所述抵桿（22）的一端固定安裝有三角塊（23），所述頂桿（15）的底端為圓弧形結構并與所述三角塊（23）的斜面相接觸，所述放置座（4）的內側固定安裝有四個分別位于四個所述推塊（21）正上方的抵塊（24），所述抵塊（24）的底部為斜面結構，所述推塊（21）靠近所述抵塊（24）的一側為弧形結構；護料機構，用于為所述放置座（4）上的晶圓提供取料防護，所述護料機構安裝于所述放置座（4）的頂部，所述護料機構包括四個呈中心對稱轉動安裝于所述滑臺（8）凸環上的活動桿（25），所述放置座（4）的頂部開設有供所述活動桿（25）限位滑動的穿孔，所述活動桿（25）的外側設置有定位環（26），所述定位環（26）固定安裝于所述放置座（4）的頂部內壁，所述定位環（26）的內側固定安裝有兩個呈中心對稱分別的螺旋條（27），所述活動桿（25）的外側開設有與所述螺旋條（27）相配合的螺旋槽，所述活動桿（25）的頂部固定安裝有位于所述滑臺（8）上方的擋板（28），所述擋板（28）的外側設置有橡膠護條（29），所述橡膠護條（29）呈弧形結構，所述放置座（4）的頂部開設有供所述擋板（28）收入的收納槽，所述橡膠護條（29）靠近所述活動桿（25）的一側固定安裝有拉板（30），所述拉板（30）的底部與所述擋板（28）的頂部相接觸，所述擋板（28）的頂部開設有供所述拉板（30）限位插接的U形卡槽。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫學院，其通訊地址為：214105 江蘇省無錫市錫山區錫山大道333號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。