2O3/Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法,南京大學(xué),發(fā)明授權(quán)"/>

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恭喜南京大學(xué)葉建東獲國(guó)家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜南京大學(xué)申請(qǐng)的專利一種具有κ-Ga2O3/Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN119230597B

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411759891.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D64/68;該發(fā)明授權(quán)一種具有κ-Ga2O3/Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法是由葉建東;許軻;萬昌錦;雒玉蓉;李展華;任芳芳;顧書林;張榮設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-12-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

一種具有κ-Ga2O3/Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種具有κ?Ga2O3Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法。本發(fā)明的負(fù)電容晶體管包括從下至上依次設(shè)置的襯底,GaN緩沖層,UID?GaN溝道層,Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層,以及設(shè)置在Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層上的源電極、漏電極和柵極,以及設(shè)置在柵極和Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層之間的κ?Ga2O3Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層。本發(fā)明的負(fù)電容晶體管能夠?qū)崿F(xiàn)易失性與非易失性存儲(chǔ)的結(jié)合,從而在保證高速數(shù)據(jù)處理能力的同時(shí),提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性與斷電后的數(shù)據(jù)保存可靠性,為全儲(chǔ)備池的應(yīng)用提供高效的數(shù)據(jù)管理支持。

本發(fā)明授權(quán)一種具有κ-Ga2O3/Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種具有κ-Ga2O3Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層的負(fù)電容晶體管,所述負(fù)電容晶體管包括從下至上依次設(shè)置的襯底(1),GaN緩沖層(2),UID-GaN溝道層(3),Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層(4),和劃定在Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層(4)表面的源電極區(qū)域、漏電極區(qū)域以及柵極區(qū)域,以及設(shè)置在源電極區(qū)域的源電極(5)、設(shè)置在漏電極區(qū)域的漏電極(6)和設(shè)置在柵極區(qū)域的柵極(7);所述UID-GaN溝道層(3)與Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層(4)的接觸面形成二維電子氣溝道2DEG;其特征在于:所述負(fù)電容晶體管還包括設(shè)置在柵極(7)和Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層(4)之間的κ-Ga2O3Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層(8);所述κ-Ga2O3Al2O3復(fù)合鐵電介質(zhì)層(8)包括從下至上依次設(shè)置在Al0.25Ga0.75N勢(shì)壘層(4)表面的κ-Ga2O3鐵電層(9)和Al2O3絕緣層(10),所述κ-Ga2O3鐵電層(9)的材質(zhì)為κ-Ga2O3,所述Al2O3絕緣層(10)的材質(zhì)為Al2O3。

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