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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;浙江晶盛機(jī)電股份有限公司申請(qǐng)的專利石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119671398B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510171529.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06Q10/0639；該發(fā)明授權(quán)石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法是由傅林堅(jiān);劉華;楊潔;李恒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)涉及一種石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法,涉及半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域。該方法包括：獲取石英坩堝多批次熔制過(guò)程中的觀測(cè)過(guò)程參數(shù)，多過(guò)程觀測(cè)特征矩陣；采用密度估計(jì)方法，確定多過(guò)程觀測(cè)特征矩陣的概率密度分布，從B個(gè)批次中篩選出S個(gè)有效批次；根據(jù)有效批次的觀測(cè)過(guò)程參數(shù)確定第一特征矩陣，根據(jù)有效批次生產(chǎn)的石英坩堝質(zhì)量參數(shù)確定質(zhì)量矩陣，確定第一相關(guān)系數(shù)矩陣；基于第一相關(guān)系數(shù)矩陣中各個(gè)系數(shù)值，從候選參數(shù)中確定熔融設(shè)備的目標(biāo)參數(shù)，確定目標(biāo)時(shí)刻；將目標(biāo)時(shí)刻下的目標(biāo)參數(shù)輸入預(yù)訓(xùn)練的質(zhì)量預(yù)測(cè)模型，得到待熔制的石英坩堝的質(zhì)量預(yù)測(cè)結(jié)果，調(diào)整熔融設(shè)備的參數(shù)。采用本方法能夠提高石英坩堝熔融設(shè)備的參數(shù)調(diào)整的精確性和效率。

本發(fā)明授權(quán)石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種石英坩堝的熔融設(shè)備參數(shù)調(diào)整方法，其特征在于，所述方法包括：獲取石英坩堝多批次熔制過(guò)程中的觀測(cè)過(guò)程參數(shù)，根據(jù)所述觀測(cè)過(guò)程參數(shù)，構(gòu)建形狀為T(mén)×B的多過(guò)程觀測(cè)特征矩陣；其中，所述觀測(cè)過(guò)程參數(shù)包括熔制過(guò)程中熔融設(shè)備的多個(gè)候選參數(shù)，B為熔制過(guò)程的批次數(shù)，T為每個(gè)熔制過(guò)程的引弧時(shí)間；采用密度估計(jì)方法，確定所述多過(guò)程觀測(cè)特征矩陣的概率密度分布，并根據(jù)所述多過(guò)程觀測(cè)特征矩陣的概率密度分布，從B個(gè)批次中篩選出S個(gè)有效批次；根據(jù)S個(gè)有效批次的觀測(cè)過(guò)程參數(shù)確定第一特征矩陣，根據(jù)S個(gè)有效批次生產(chǎn)的石英坩堝的質(zhì)量參數(shù)確定質(zhì)量矩陣，并基于所述第一特征矩陣和所述質(zhì)量矩陣，確定第一相關(guān)系數(shù)矩陣；基于所述第一相關(guān)系數(shù)矩陣中的各個(gè)系數(shù)值，從所述候選參數(shù)中確定所述熔融設(shè)備的目標(biāo)參數(shù)，并根據(jù)S個(gè)有效批次的觀測(cè)過(guò)程參數(shù)以及S個(gè)有效批次生產(chǎn)的石英坩堝的質(zhì)量參數(shù)，確定目標(biāo)時(shí)刻；其中，所述目標(biāo)時(shí)刻屬于所述引弧時(shí)間T中的部分引弧時(shí)刻t，所述目標(biāo)參數(shù)為與所述石英坩堝的質(zhì)量參數(shù)相關(guān)性大于預(yù)設(shè)值的候選參數(shù)；將所述目標(biāo)時(shí)刻下的目標(biāo)參數(shù)輸入預(yù)訓(xùn)練的質(zhì)量預(yù)測(cè)模型，得到待熔制的石英坩堝的質(zhì)量預(yù)測(cè)結(jié)果，并基于所述質(zhì)量預(yù)測(cè)結(jié)果調(diào)整所述熔融設(shè)備的參數(shù)。

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