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龍圖騰網恭喜山東大學申請的專利一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119730466B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510245120.6，技術領域涉及：H10F71/00；該發明授權一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器及其制備方法是由楊家躍;成濤;孫寶樂;趙歡歡;劉林華設計研發完成，并于2025-03-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明屬于中紅外光電探測器技術領域，特別涉及一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器及其制備方法，首先提供一種基底和元原子材料，進行橢偏測試得到基底和元原子材料的介電函數，將介電函數作為輸入帶入有限元軟件中，對超表面進行理論建模設計，得到合適的超表面尺寸后進行超表面的制作，隨后采用橢偏測試對超表面進行不同偏振下的反射率和透射率測試，并采用標準電子束蒸發工藝在超表面上沉積金屬層作為電極，最后在光電探測實驗中選用CO2激光器來照射超表面。本發明通過優化超表面的結構參數和材料性能實現中遠紅外寬帶吸收、高效光熱轉換和光電響應，從而解決現有技術中相應波長較短、器件繁重，探測效率不足的問題。

本發明授權一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種基于超薄超表面的中紅外光電探測器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1，提供一種極性材料基底；步驟2，提供一種高折射率材料，用來構成基底上方的元原子；步驟3，進行橢偏測試，得到極性基底和頂部的元原子材料的介電函數實部與虛部；步驟4，將橢偏測試獲得的介電函數作為輸入，帶入有限元軟件中，對超表面進行理論建模設計，對超表面的幾何參數進行選取，實現在長波紅外范圍內SPhPs共振模式的激發；步驟5，在理論設計得到超表面尺寸后，進行超表面的制作，包括以下子步驟：子步驟5.1在單面拋光的極性襯底上制備樣品：首先通過電子束蒸發將不同目標厚度厚的元原子薄膜沉積到襯底上，然后在樣品上旋涂PMMA光刻膠，得到PMMA光刻膠層；子步驟5.2，使用電子束光刻系統將設計好的圓盤圖案曝光到PMMA光刻膠層上，曝光后對樣品進行顯影處理，顯影后的PMMA光刻膠圖案作為掩膜，通過隨后的電感耦合等離子體增強反應離子刻蝕工藝刻蝕得到元原子圓盤陣列；子步驟5.3，將得到的超表面浸泡在丙酮溶液中，洗去殘留的PMMA光刻膠，得到混合介質超表面；步驟6，采用橢偏測試的方法，對得到的超表面進行不同偏振下的反射率和透射率測試，并根據1-反射率-透射率得到吸收率，對比驗證橢偏實驗結果和有限元計算結果；步驟7，采用標準電子束蒸發工藝在超表面上沉積金屬層作為電極，再通過后期搭建金屬線構造環路，裝備成為可測器件；步驟8，光電探測實驗中選用CO2激光器來照射超表面。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人山東大學，其通訊地址為：266200 山東省青島市即墨區濱海路72號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。