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龍圖騰網(wǎng)恭喜廣東芯華鎂半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119786430B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510265215.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備是由齊強(qiáng)強(qiáng);孫朋;王志會(huì)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-07向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及到半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備，半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置包括底座和龍門架，龍門架設(shè)置在底座的上端面；升降組件包括與龍門架轉(zhuǎn)動(dòng)連接的驅(qū)動(dòng)絲杠，旋轉(zhuǎn)輔助機(jī)構(gòu)包括兩組與升降平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接的旋轉(zhuǎn)支撐組件，通過驅(qū)動(dòng)絲杠與升降平臺(tái)滑動(dòng)連接的結(jié)構(gòu)，結(jié)合第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的精確驅(qū)動(dòng)，使升降平臺(tái)沿龍門架實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)輔助機(jī)構(gòu)通過兩組伸縮轉(zhuǎn)軸與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的配合，實(shí)現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)盤的平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，并且在升降平臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)能夠動(dòng)態(tài)調(diào)整旋轉(zhuǎn)盤的軸線角度，確保旋轉(zhuǎn)平臺(tái)在不同高度下的穩(wěn)定性，伸縮轉(zhuǎn)軸在實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)功能的同時(shí)對(duì)升降平臺(tái)提供額外的支撐，進(jìn)一步增強(qiáng)了平臺(tái)升降與旋轉(zhuǎn)加工時(shí)的穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的升降裝置，其特征在于，包括：底座（1）和龍門架（2），所述龍門架（2）設(shè)置在所述底座（1）的上端面；升降組件（3），包括與所述龍門架（2）轉(zhuǎn)動(dòng)連接的驅(qū)動(dòng)絲杠（301），所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）沿所述龍門架（2）的高度方向延伸設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）的底端與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)（302）的輸出軸連接，且所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）螺紋連接有升降平臺(tái)（303），所述升降平臺(tái)（303）通過所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）與所述龍門架（2）滑動(dòng)連接；旋轉(zhuǎn)輔助機(jī)構(gòu)（4），包括兩組與所述升降平臺(tái)（303）轉(zhuǎn)動(dòng)連接的旋轉(zhuǎn)支撐組件（410），所述旋轉(zhuǎn)支撐組件（410）包括伸縮轉(zhuǎn)軸（411），所述伸縮轉(zhuǎn)軸（411）的底端與所述底座（1）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩組所述伸縮轉(zhuǎn)軸（411）與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)（420）的輸出軸連接，且兩組所述伸縮轉(zhuǎn)軸（411）的頂端均設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤（412），所述旋轉(zhuǎn)盤（412）用于夾持并旋轉(zhuǎn)硅片，其中，當(dāng)所述升降平臺(tái)（303）沿所述龍門架（2）滑動(dòng)時(shí)，所述伸縮轉(zhuǎn)軸（411）的軸線與所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）的軸線的夾角增大或減小；所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）分別與所述龍門架（2）相對(duì)的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述驅(qū)動(dòng)絲杠（301）的底端固定連接有第一鏈輪（304），所述第一鏈輪（304）的外側(cè)連接有驅(qū)動(dòng)鏈條（305），且兩個(gè)所述第一鏈輪（304）均設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)鏈條（305）的內(nèi)側(cè)，所述驅(qū)動(dòng)鏈條（305）與所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)（302）的輸出軸連接。

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