恭喜深圳中科飛測科技股份有限公司陳魯獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利一種檢測設備及其對準方法和檢測方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113514478B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010276626.0,技術領域涉及:G01N21/95;該發明授權一種檢測設備及其對準方法和檢測方法是由陳魯;黃有為設計研發完成,并于2020-04-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種檢測設備及其對準方法和檢測方法在說明書摘要公布了:本申請提供一種光學設備的對準方法,該檢測設備包括光源和探測裝置,探測裝置包括第一探測器和鏡頭,該對準方法包括:通過光源向待測對象發射檢測光,檢測光在待測對象表面形成檢測光斑,使檢測光斑經待測對象表面形成第一信號光;第一探測器的感光面經鏡頭在待測對象表面形成第一探測區,使第一探測裝置收集不同位置關系下的第一探測區的第一信號光;根據第一信號光獲取不同位置關系下的第一信號光的光強度;獲取第一信號光具有最大光強度時的位置關系作為對準位置,其中,位置關系為檢測光斑與第一探測區的相對位置;將第一探測區與檢測光斑的位置關系調整為對準位置。通過以上設置,可快速、準確獲取對準位置,提高光學設備檢測精度。
本發明授權一種檢測設備及其對準方法和檢測方法在權利要求書中公布了:1.一種光學設備的對準方法,所述光學設備包括光源和探測裝置,所述探測裝置包括第一探測器和鏡頭,其特征在于,所述對準方法包括:通過所述光源向待測對象發射檢測光,所述檢測光在所述待測對象的表面形成檢測光斑,使所述檢測光斑經所述待測對象表面形成第一信號光;所述第一探測器的感光面經所述鏡頭在所述待測對象表面形成第一探測區,使所述第一探測器收集不同位置關系下的所述第一探測區的所述第一信號光;根據所述第一信號光,獲取不同位置關系下的所述第一信號光的光強度;獲取所述第一信號光具有最大光強度時的位置關系作為對準位置,其中,所述位置關系為所述檢測光斑與所述第一探測區的相對位置;將所述第一探測區與所述檢測光斑的位置關系調整為所述對準位置;所述位置關系包括:所述檢測光斑與所述第一探測區沿第一方向的相對位置;所述檢測光斑沿所述第一方向的尺寸大于所述第一探測區沿所述第一方向的尺寸;所述位置關系還包括:所述檢測光斑與所述第一探測區沿第二方向的相對位置,所述第二方向與所述第一方向不平行;所述檢測光斑沿所述第二方向的尺寸大于所述第一探測區沿所述第二方向的尺寸。
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